放氣閥的工作原理及結(jié)構(gòu)示意圖
2019-10-05 郭方準 實用真空技術(shù)
放氣閥是向真空腔體內(nèi)導入氣體，以破壞真空的閥門(圖1)。針對超高真空系統(tǒng)，一般情況下導入干燥的氮氣，以避免真空腔體內(nèi)壁大量吸附水蒸氣。放氣閥不具備超高真空密封的能力，通常連接在進樣室上。
圖1 放氣閥的示意圖
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