真空計校方法準概述

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　真空計校準是真空測量的基礎，是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。它不但能使已有的相對真空計統(tǒng)一在可靠的標準之下，而且還可對發(fā)展中的真空計進行性能的研究。

　　所謂“真空計校準”就是對相對真空計進行“刻度”。真空計刻度是在一定條件下對一定種類氣體進行的，從而得到校準系數(shù)或刻度曲線。因此氣體種類的改變或工作條件的變化，原校準曲線就不能使用，必須重新進行校準。同一臺測量儀器，更換規(guī)管時校準曲線也會發(fā)生變化。由此觀之，對相對真空計校準是非常必要的，又要定期進行，否則會產(chǎn)生超過允許的測量誤差。

　　校準是對真空計整體而言，既包括所謂的一次儀表的真空規(guī)管，又包括所謂的二次儀表的電子線路。通常是二者合在一起進行校準，也可以分別對真空計規(guī)管和電子線路進行校準，而后者是較為理想的。

　　真空計校準的前提是必須有標準真空計和校準系統(tǒng)，并通過一定方法進行。

　　真空標準有絕對真空計、標準相對真空計(或副標準真空計)和絕對校準系統(tǒng)。所有絕對真空計均可作為真空標準。而以絕對真空計為基準，將經(jīng)過壓力衰減后精確計算出的再生低壓力作為標準的真空計校準系統(tǒng)稱為絕對校準系統(tǒng)。

　　如膨脹法校準系統(tǒng)應用靜力熱平衡，其理論基礎為理想氣體的玻意耳定律，把U型管壓力計校準下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩(wěn)定性和精度高的真空計，經(jīng)過校準之后，可作為次級標準，對工作真空計進行校準，稱這種真空計為副標準真空計。

　　在計量學中，所謂標準是按精度等級排列的一個體系。國家技術(shù)監(jiān)督局批準并于1990年5月1日實施“真空計量器具檢定系統(tǒng)"(JJG2022—89)。根據(jù)當前真空技術(shù)發(fā)展水平，真空獲得和真空測量范圍，已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中，實際廣泛應用的壓力范圍為10-8～105Pa。

　　為了保證該范圍內(nèi)真空度量值的準確一致，制定了檢定系統(tǒng)，進行真空度量值傳遞，檢定各級真空計時器具。該檢定系統(tǒng)主要適用于lO-8～lO5Pa范圍內(nèi)，計量、科研和工業(yè)部門使用的真空標準裝置和真空計的檢定。