意大利IMGC的這套質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)采用比對(duì)的方法進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)系統(tǒng)工作原理如圖5 所示，采用四極質(zhì)譜計(jì)之間和四極質(zhì)譜計(jì)與熱陰極真空計(jì)、冷陰極真空計(jì)之間的比對(duì)進(jìn)行校準(zhǔn)。從校準(zhǔn)的結(jié)果來(lái)看，實(shí)驗(yàn)結(jié)果的復(fù)現(xiàn)性比較好。

　　在實(shí)驗(yàn)中，真空規(guī)、四極質(zhì)譜計(jì)探頭要對(duì)稱的安裝在球形不銹鋼真空室上，這樣可以在相同的條件下測(cè)量真空容器的真空度。系統(tǒng)的極限壓力是10^-8 Pa，測(cè)量和校準(zhǔn)的范圍是1 × 10^-4 ～ 5 × 10^-7 Pa。

圖5 意大利IMGC質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖

　　1. 四級(jí)質(zhì)譜計(jì)1　2. 四級(jí)質(zhì)譜計(jì)2　3. 四級(jí)質(zhì)譜計(jì)3　4. 濺射離子泵和非蒸散型吸氣劑泵　5. B - A 規(guī)　6. 電磁隔斷閥　7. 渦輪分子泵　8. 機(jī)械泵　9. 皮喇尼規(guī)　10. 真空室　11. 機(jī)械泵　12. 氣源氫氣　13. 氣源氮?dú)狻?4. 氣源甲烷　15. 氣源氬氣　16. 電磁隔斷閥

　　四極質(zhì)譜計(jì)的測(cè)量靈敏度受使用條件的影響， IMGC 認(rèn)為主要是離子源剩磁的緣故，此實(shí)驗(yàn)對(duì)此進(jìn)行了研究，研究結(jié)果表明在比較高的壓力范圍內(nèi)( 大于5 × 10 ^-6 Pa) 剩磁現(xiàn)象對(duì)質(zhì)譜計(jì)的影響很小。系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于可以一次性對(duì)多個(gè)質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)，并且校準(zhǔn)的范圍比較寬，適用于一般質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)�？紤]到校準(zhǔn)過(guò)程中質(zhì)譜計(jì)之間可能會(huì)相互影響，不建議多個(gè)質(zhì)譜計(jì)同時(shí)進(jìn)行校準(zhǔn)。