薄膜計可分為絕對式和差壓式。把0帕定作零點標準的規(guī)稱為絕對式,把任意壓力值定作零點標準的規(guī)稱作差壓式。它的優(yōu)點主要是性能穩(wěn)定,精確度高,靈敏度與氣體種類無關(guān);結(jié)構(gòu)牢固、抗振動、壽命長;并可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點主要是預(yù)熱時間很長,可能會影響工作。

校準電容薄膜計時,應(yīng)注意以下五點:

(1)傳感器調(diào)零時,首先應(yīng)用標準信號將控制線路的零點和滿度調(diào)好,將溫度補償器調(diào)到所需要的位置上,測量中不可隨意變動。

(2)傳感器調(diào)零應(yīng)在其預(yù)熱4小時后進行,必要時可(10～24)小時的恒溫加熱,才能使電容規(guī)達到最佳零點,也才能測得更精確。

(3)傳感器調(diào)零的位置,應(yīng)比校準范圍下限低2～3個量級。如量程是1000Torr,則校準范圍是133. 3Pa～133300Pa。零點在真空系統(tǒng)抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右時才能調(diào)節(jié),其余量程以此類推。

(4)調(diào)零以后,校準過程中環(huán)境溫度不能有驟然變化的現(xiàn)象發(fā)生。

(5)在校準過程中,避免傳感器過大的振動。