熱電偶真空計(jì)和Pirani真空計(jì)一樣,熱電偶真空計(jì)也是利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象,因?yàn)閮r(jià)格低廉,被廣泛應(yīng)用到中真空領(lǐng)域。

    真空測(cè)定的要素部分如圖所示。熱電偶接在白金或鎢的細(xì)線上。這段細(xì)線通過(guò)電流后會(huì)發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過(guò)周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計(jì)的原理。

如果保持細(xì)線的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使細(xì)線的溫度較低。反過(guò)來(lái)周圍壓力低的時(shí)候細(xì)線的溫度會(huì)升高。這種溫度的變化通過(guò)熱電偶檢測(cè)出來(lái),將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內(nèi)的壓力。

  熱電偶真空計(jì)的 特征

    利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象,可能測(cè)量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計(jì)測(cè)得細(xì)線溫度同時(shí),也受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡(jiǎn)單,價(jià)格低廉。

    另外此真空計(jì)在大氣壓狀態(tài)下也不會(huì)燒損。而且測(cè)得的壓力值通過(guò)電信號(hào)被取出,因此在自動(dòng)控制方面容易控制。