靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法
靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置是國防真空計(jì)量最高標(biāo)準(zhǔn)，采用傳遞比較法對(duì)其進(jìn)行期間核查。
傳遞比較法是用高一級(jí)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和被核查的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)（檢定）同一臺(tái)穩(wěn)定性好的傳遞標(biāo)準(zhǔn)或測(cè)量器具，其值分別是y0 和y，應(yīng)滿足式（1）
式中y 為被核查標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)結(jié)果；y0 為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)結(jié)果；U 為被核查標(biāo)準(zhǔn)的擴(kuò)展不確定度；uc 為被核查標(biāo)準(zhǔn)的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
高一級(jí)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)選用高精密活塞壓力計(jì)標(biāo)準(zhǔn)裝置，其測(cè)量范圍為（1×102～1×104）Pa，擴(kuò)展不確定度U 為0.20%～0.01%（k=2）；被核查標(biāo)準(zhǔn)靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置測(cè)量范圍為（1×10-4～1×105）Pa，擴(kuò)展不確定度U為0.8%（k=2）。
電容薄膜真空計(jì)具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重復(fù)性，常被用作真空標(biāo)準(zhǔn)之間的傳遞標(biāo)準(zhǔn)。這里傳遞標(biāo)準(zhǔn)選用美國MKS 公司生產(chǎn)的FS1.33 kPa 電容薄膜真空計(jì)，其測(cè)量范圍為（1～1×103）Pa。在（1×102～1×103）Pa 范圍，分別用高精密活塞壓力計(jì)標(biāo)準(zhǔn)裝置和靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置對(duì)FS1.33 kPa電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)見表1 和表2。
表1 高精密活塞壓力計(jì)標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
表2 靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
注：修正因子＝標(biāo)準(zhǔn)值÷被校值。
表1 中，用高精密活塞壓力計(jì)標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)的平均修正因子為1.002 1；表2 中，用靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)的修正因子為0.998 2。根據(jù)式（1）計(jì)算二者的偏差為0.39%，小于靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的擴(kuò)展不確定度0.80%，該標(biāo)準(zhǔn)裝置技術(shù)狀態(tài)正常。
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