微壓式數(shù)字活塞壓力計測量不確定度的評定
微壓式數(shù)字活塞壓力計測量不確定度的評定
魏萬印,李得天,馮焱,成永軍
(中國航天科技集團公司五院510 所)
摘要:粗低真空校準(zhǔn)技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天等高科技領(lǐng)域。中國航天科技集團公司五院510 所建立的粗低真空校準(zhǔn)裝置的核心是數(shù)字活塞壓力計,在30Pa-11kPa 校準(zhǔn)范圍內(nèi)采用了Furness 公司的FRS5 微壓式數(shù)字活塞壓力計作為主標(biāo)準(zhǔn)器。
本文分析了FRS5 微壓式數(shù)字活塞壓力計在絕壓模式下的測量不確定來源,并對各項不確定度分量進(jìn)行了評定,最后給出了測量不確定度。