熱偶真空計(jì)是借助于熱電偶測(cè)量熱絲溫度的變化，用熱電偶產(chǎn)生的熱電勢(shì)表征規(guī)管內(nèi)的壓力。DL-3型熱偶規(guī)管的壓力測(cè)量范圍為10²～10^-1Pa。

　　熱偶真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖如圖4-7所示。它由熱偶式規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。熱偶規(guī)管主要由熱絲和熱電偶組成，熱電偶的熱端和熱絲相連，另一端作為冷端經(jīng)引線引出管外，接至測(cè)量熱電偶電勢(shì)用的毫伏表。測(cè)量線路比較簡(jiǎn)單。

圖4-7 熱偶真空計(jì)結(jié)構(gòu)原理圖

　　測(cè)量時(shí)，規(guī)管熱絲通以一定的加熱電流。在較低壓力下(λ≥r2)，熱偶電勢(shì)E決定于規(guī)管內(nèi)的壓力p，這是因?yàn)闊峤z溫度的變化決定于氣體的熱傳導(dǎo)。當(dāng)壓力降低時(shí)，氣體分子傳導(dǎo)走的熱量減少，熱絲溫度隨之升高，故熱偶電勢(shì)E增大，反之，熱偶電勢(shì)E減小。

　　規(guī)管加熱電流改變時(shí)，對(duì)其靈敏度和測(cè)量范圍都有影響。如果加熱電流增大，則規(guī)管靈敏度提高，能測(cè)較高的壓力，但測(cè)量范圍變窄;反之，如果加熱電流減小，則規(guī)管靈敏度降低，只能測(cè)量較低壓力，但測(cè)量范圍較寬。

　　在加熱電流一定的情況下，如果預(yù)先已測(cè)出熱偶電勢(shì)E與壓力 p的關(guān)系，那就可根據(jù)毫伏表的指示直接給出被測(cè)系統(tǒng)的壓力。