實(shí)用的電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測(cè)量熱絲電阻變化的方法不同，可分為三種模式：

　　(1)定電壓法：保持電橋兩端電壓不變，觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系。

　　(2)定電流法：保持熱絲電流(或電橋電流)不變，觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。

　　(3)定電阻法(即定溫度法)：在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法，保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線(xiàn)。在此方法中，熱絲電阻及其溫度基本為定值，具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點(diǎn)。

　　在以上三種模式中，常用的是定電壓法和定溫度法。

　　定壓型電阻真空計(jì)的測(cè)量線(xiàn)路原理如圖4-4所示。此乃一惠氏電橋，規(guī)管Rw為電橋一臂，其鄰臂有一個(gè)補(bǔ)償管Rc，以進(jìn)行溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償管Rc的結(jié)構(gòu)尺寸與規(guī)管 Rw相同，并預(yù)先抽真空至10^-2～10^-4 Pa后封離。由于Rc與Rw性能一致，且兩者處于電橋相鄰兩臂，因此環(huán)境溫度的影響相互抵消，在指示儀表CB中反映不出來(lái)。電橋其他兩臂由電阻R1、R2及可變電阻Rv組成，電橋由可調(diào)穩(wěn)壓電源E供電。此真空計(jì)一般在高真空下用可變電阻Rv調(diào)節(jié)電橋平衡，即調(diào)零點(diǎn)。

圖4-4 定電壓型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理圖

　　當(dāng)規(guī)管內(nèi)的壓力變化時(shí)，由于被氣體傳導(dǎo)走的熱量不同于開(kāi)始時(shí)的平衡狀態(tài)，因而熱絲的溫度發(fā)生變化，引起其電阻值改變，電橋失去平衡。壓力的變化由指示儀表CB讀出，CB指示的電流值與壓力的關(guān)系，通過(guò)校準(zhǔn)曲線(xiàn)給出。規(guī)管熱絲用半徑r1 =0.01mm的鎢絲繞制成圓柱螺旋形，其室溫下電阻Rw =200Ω。由于各種氣體的導(dǎo)熱系數(shù)不同，因此，對(duì)不同種類(lèi)氣體的校準(zhǔn)曲線(xiàn)是不同的。

　　定壓型測(cè)量線(xiàn)路的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；不足之處是電橋電壓是固定的，故在壓力高時(shí)由于氣體導(dǎo)熱快，熱絲溫度降低，導(dǎo)致規(guī)管靈敏度下降，測(cè)量高于100Pa的壓力就甚為困難。實(shí)際上，定電壓型測(cè)量線(xiàn)路的測(cè)量上限并未達(dá)到規(guī)管的理論值(即λ≈r1所對(duì)應(yīng)的壓力)。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認(rèn)為為了保證高壓力時(shí)有較高的靈敏度，必須使熱絲此時(shí)處于足夠高的溫度，然而在壓力變低時(shí)它的溫度將增高到有可能使熱絲氧化或燒毀的程度。

圖4-5 定溫型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理圖

　　定溫型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理圖如圖4-5所示。其工作原理是：先在10^-2～10^-3 Pa真空度時(shí)，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當(dāng)壓力增高時(shí)，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。

　　文氏橋定溫型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理圖如圖4-6所示，電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對(duì)規(guī)管熱絲加熱。振蕩器的頻率決定于下式

　　頻率一般選在1～10kHz，以減小分布電容及機(jī)械振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響。加于熱絲上的電功率Pw視V、R3、Rw值而定，即

圖4-6 文氏橋定溫型電阻真空計(jì)測(cè)量線(xiàn)路原理圖

　　熱絲保持定溫的原理如下：當(dāng)規(guī)管壓力降低時(shí)，氣體導(dǎo)熱減少，熱絲溫度升高，Rw 增大。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認(rèn)為此時(shí)振蕩器從電橋?qū)�角線(xiàn)即M、N兩點(diǎn)輸入的電壓 V1降低，使得放大器輸出電壓 V降低，從而熱絲加熱功率降低，直至恢復(fù)原來(lái)溫度為止。反之，如果氣體壓力升高，則出現(xiàn)相反的過(guò)程，亦能將熱絲溫度恢復(fù)原值。

　　文氏橋定溫型電阻真空計(jì)壓力測(cè)量上限可達(dá)1×10³～1×10⁴Pa，反應(yīng)時(shí)間較短，一般為1～5s；但低壓力下的靈敏度比定壓型電阻真空計(jì)低，測(cè)量下限一般為1×10^-1 Pa；測(cè)量線(xiàn)路比較復(fù)雜。