振膜真空計的特點

2016-03-08 真空技術網 真空技術網整理

　　振膜真空計是粗真空和低真空測量中一種比較理想的真空計，其主要特點為：

　　1、測量范圍寬，單個規(guī)管具有能測量6個數量級以上的動態(tài)壓力范圍，一般為104～10-1Pa，特殊結構的可達6×105～10-4Pa。

　　2、測量精度較高：1% ～2%。

　　3、不需要基準參考壓力，即使突然暴露大氣也不致于因沖擊而損壞。

　　4、被測氣體的種類對測量結果的影響很小，該計為全壓計。

　　5、反應速度快，一般為30～60ms。

　　6、規(guī)管體積小，吸氣和放氣很少，并能近似作點壓力的測量。

　　7、結構牢固，受外界環(huán)境溫度和振動等條件影響小。