盡管壓縮式真空計(jì)具有較高的可靠性，但是還存在許多產(chǎn)生測量誤差的因素，本文就幾個主要因素進(jìn)行簡要的分析。

1、蒸氣對測量的影響

　　通常在被測量的真空系統(tǒng)中，總是有些蒸氣存在，如壓縮式真空計(jì)工作液本身就是一個蒸氣源，此外還有部分水蒸氣和其他蒸氣源等。由于這種真空計(jì)是基于理想氣體波義耳定律工作的，所以應(yīng)對蒸氣進(jìn)行分析，了解它對測量的影響。任何蒸氣被壓縮到其飽和蒸氣壓時(shí)，壓力就不再因壓縮而增高，因此壓縮式真空計(jì)顯然不能正確測出蒸氣的壓力，需要做具體分析。

　　對于工作液水銀來說，在室溫下，其飽和蒸氣壓約為10^-1Pa左右，同時(shí)存在于測量毛細(xì)管和比較毛細(xì)管水銀面上，故不能造成任何水銀柱的高度差，這就意味著壓縮式真空計(jì)任何時(shí)候都不能反映出它本身工作液的蒸氣壓。但是，這種蒸氣壓卻能擴(kuò)散到真空系統(tǒng)中去，因此必須在真空系統(tǒng)和壓縮式真空計(jì)之間安裝一個冷阱，用來消除水銀蒸氣對真空系統(tǒng)的影響，這時(shí)進(jìn)入真空系統(tǒng)的水銀蒸氣只相當(dāng)于冷凝溫度的水銀飽和蒸氣壓，如用液氮冷阱，其值低于10^-30Pa。

　　對于飽和蒸氣壓小于30Pa的未飽和蒸氣，壓縮后在測量毛細(xì)管中達(dá)到飽和蒸氣壓，而在比較毛細(xì)管中仍為未飽和蒸氣，故二者之間就會出現(xiàn)小于0.2mm的水銀面高度差，這個高度差用肉眼很難讀出，故這類蒸氣的壓力就不能反映出來。機(jī)械泵油(飽和蒸氣壓在10^-2～10^-3Pa)、擴(kuò)散泵油(飽和蒸氣壓在10^-4～10^-3 Pa)即屬于這種情況。

　　對于飽和蒸氣壓大于500Pa的未飽和蒸氣，壓縮后測量毛細(xì)管中達(dá)到飽和蒸氣壓，而比較毛細(xì)管中尚未達(dá)到飽和蒸氣壓，就會使水銀面出現(xiàn)0.2mm以上的高度差，已可以用肉眼觀察出來，這時(shí)的讀數(shù)可認(rèn)為是飽和蒸氣壓值。真空系統(tǒng)中殘存的一些水蒸氣即屬此種情況。

　　真空系統(tǒng)中最典型的情況是永久性氣體和某些蒸氣的混合體，而且其比例無法確定，用壓縮式真空計(jì)測量時(shí)，讀出的數(shù)值究竟是永久性氣體的分壓、蒸氣的飽和蒸氣壓還是全壓(永久性氣體分壓和蒸氣分壓之和)，這就要按上述情況做具體分析。因此，為了排除蒸氣給測量帶來麻煩，常在真空系統(tǒng)和壓縮式真空計(jì)之間安裝一個冷阱，這樣測得的為永久性氣體分壓。所以通常所說的壓縮式真空計(jì)是測量氣體分壓力，就是指帶冷阱而言的。

2、水銀蒸氣流效應(yīng)

　　在討論蒸氣對測量的影響時(shí)，為了消除蒸氣的影響而在真空系統(tǒng)與壓縮式真空計(jì)之間安裝一個冷阱，這就給測量又帶來一個新的誤差來源，即水銀蒸氣流效應(yīng)。它是由于冷阱的存在，導(dǎo)致壓縮式真空計(jì)中的水銀蒸氣不斷向冷阱方向流動形成一個穩(wěn)定的水銀蒸氣流，這個穩(wěn)定的水銀蒸氣流將壓縮式真空計(jì)中的氣體分子帶向真空

　　系統(tǒng)，造成壓縮式真空計(jì)中的壓力低于真空系統(tǒng)的實(shí)際壓力。這一效應(yīng)在壓力測量下限時(shí)引起近20×10^-2的系統(tǒng)誤差。為了克服這一現(xiàn)象，一般在壓縮式真空計(jì)連接管口處安置一個閥門，在進(jìn)行測量讀數(shù)前先將該閥門關(guān)上，切斷水銀蒸氣流與冷阱間的氣路。

3、不穩(wěn)定的毛細(xì)作用

　　由于壓縮式真空計(jì)測量毛細(xì)管和比較毛細(xì)管內(nèi)徑的不均勻性、表面狀況不同等原因，致使毛細(xì)管中水銀不規(guī)則運(yùn)動所引起的一系列異�，F(xiàn)象，給測量帶來誤差。為了減小其影響，最早采用的方法是對毛細(xì)管內(nèi)徑進(jìn)行磨毛加工，提高毛細(xì)管內(nèi)徑的均勻性。有文獻(xiàn)提出了“摩擦阻力是引起毛細(xì)管中水銀不規(guī)則運(yùn)動的主要原因”的假設(shè)，并采用涂油潤滑的方法，即在毛細(xì)管內(nèi)表面涂一層厚度約為3μm的均勻油膜(DC-704硅油)，可較好地消除毛細(xì)管中發(fā)生的一系列異�，F(xiàn)象。

　　除上述因素外，還有靜電效應(yīng)、溫度變化、結(jié)構(gòu)尺寸不準(zhǔn)確、偏離理想氣體的波義耳定律、連接管和真空計(jì)玻璃的出氣等，都可給測量帶來誤差。