真空區(qū)域的幾種劃分

2016-03-05 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  有了量度真空度的單位,就可以定量地表示真空度的高低。但是,目前真空技術(shù)所涉及的壓力范圍已寬達20個數(shù)量級,為了使用方便,有時只需要粗略指出真空度的大致范圍,通常定性地把真空粗略劃分幾個區(qū)域。劃分區(qū)域的依據(jù)主要考慮真空狀態(tài)下氣體分子運動的物理特性、真空泵和真空計的有效工作范圍等。

  我國關(guān)于真空區(qū)域的劃分,《真空技術(shù)名詞術(shù)語(GB3163-1982)》中規(guī)定如下:

真空區(qū)域的幾種劃分

  真空理論工作者推薦的真空區(qū)域劃分如下:

真空區(qū)域的幾種劃分

  粗真空、低真空和高真空是依氣體分子平均自由程與容器特征尺寸d相比的值來劃分的。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認為主要考慮:是氣體分子之間的相互碰撞還是氣體分子與器壁的相互碰撞對所出現(xiàn)的物理現(xiàn)象起決定性作用。

真空區(qū)域的幾種劃分

  將高真空和超高真空的界限定為10-6 Pa,主要是考慮真空物理吸附機制只有在壓力 p<10-6 Pa時才開始明顯,才可由擴散泵抽氣獲得,由B-A計進行壓力測量。至于超高真空與極高真空的劃分界限在10-12 Pa,是因為p<10-12 Pa時,出現(xiàn)統(tǒng)計漲落(大于5×10-2 )。

  上述的真空區(qū)域劃分,各區(qū)域均表示一個壓力范圍,原因是目前仍以壓力表示真空度。但是,在低真空、高真空、超高真空和極高真空中,真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認為所說的壓力是有著本質(zhì)差別的,壓力只是其他量的相對指示。

  各個區(qū)域的真空物理特性、所用的真空泵和真空計詳見表。國外關(guān)于真空區(qū)域劃分也不一致,隨著真空技術(shù)的發(fā)展,真空區(qū)域劃分亦有變化。

表 真空區(qū)間物理特點和典型真空泵、真空計

真空區(qū)域的幾種劃分