真空計(jì)的校準(zhǔn)

2019-10-05 普發(fā)真空中國普發(fā)真空中國

　　如今，真空在我們?nèi)粘Ｉ钪斜粡V泛應(yīng)用于高端產(chǎn)品的生產(chǎn)及制造，并且扮演著重要角色。例如：在科研，工業(yè)流程，手機(jī)芯片，硬盤，太陽能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領(lǐng)域。

　　在當(dāng)今的生產(chǎn)活動(dòng)中，我們對(duì)真空度測(cè)量的精確性、標(biāo)準(zhǔn)化、可靠性和重復(fù)性的要求是至關(guān)重要的。當(dāng)我們?cè)谶M(jìn)行測(cè)量的時(shí)候，高精度又是關(guān)鍵中的關(guān)鍵：

　　精度的高低會(huì)直接影響產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，科學(xué)實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性和設(shè)備使用的可靠性。

　　要確保真空計(jì)使用時(shí)的高可靠性，就必須經(jīng)常對(duì)它進(jìn)行校準(zhǔn)或標(biāo)定。而根據(jù)每個(gè)不同應(yīng)用的具體要求，這些校準(zhǔn)工作必須符合國內(nèi)或相關(guān)的國際標(biāo)準(zhǔn)。

　　經(jīng)濟(jì)、高效、精準(zhǔn)、國際化的機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)及標(biāo)定替代解決方案

　　生產(chǎn)活動(dòng)中，真空計(jì)往往需要對(duì)外專業(yè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn)和標(biāo)定。然而在對(duì)量大或校準(zhǔn)間隔要求短的條件下，使用經(jīng)濟(jì)的測(cè)量儀器進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)能大大節(jié)約時(shí)間和費(fèi)用。

　　普發(fā)真空緊湊型的校準(zhǔn)泵組就能夠組建起這樣一個(gè)系統(tǒng)。真空技術(shù)網(wǎng)（http://www.healwit.com.cn/）認(rèn)為這個(gè)易于使用的便攜式系統(tǒng)是專為同時(shí)在線進(jìn)行多個(gè)儀器檢測(cè)而量身定做的。其系統(tǒng)具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標(biāo)準(zhǔn)的特點(diǎn)。

HiCube校準(zhǔn)專用泵組

圖1：HiCube校準(zhǔn)專用泵組

　　校準(zhǔn)要求

　　在進(jìn)行校準(zhǔn)前，必須滿足如下條件：

　　■ 系統(tǒng)極限壓力ρE 必須超過最小校準(zhǔn)壓力ρmin的50倍

　　(ρE ≤ ρmin/50)

　　■ 環(huán)境溫度必須恒定 (± 1°C)

　　■ 校準(zhǔn)系統(tǒng)必須熱穩(wěn)定

　　■ 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和其他真空計(jì)在測(cè)量時(shí)真空度必須穩(wěn)定

　　普發(fā)真空解決方案

　　普發(fā)真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準(zhǔn)。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如，HiCube 80 Eco)和一個(gè)采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。

　　渦輪分子泵組由一個(gè)帶Holweck級(jí)的(HiPace 80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP 015-2)組成。這款泵組的抽速最高可達(dá)67 l/s并且最終真空度可達(dá)1 10^-7 hPa。

　　不銹鋼腔體上有六個(gè)真空計(jì)連接口。如果客戶要求，兩個(gè)參考標(biāo)準(zhǔn)(1 hPa和1,000h Pa)和一個(gè)冷陰極真空計(jì)能夠預(yù)裝在這套系統(tǒng)中。比如，壓力控制和歸零調(diào)整的預(yù)裝。所有的真空計(jì)都進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)并且符合德國認(rèn)證機(jī)構(gòu)(German: Deutsche Akkreditierungsstelle –DAkkS)的標(biāo)準(zhǔn)。這就使得校準(zhǔn)真空計(jì)可以被有效的實(shí)施并且符合法律和規(guī)范要求，并且這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)是一個(gè)國際化上認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。

　　此外，最多四臺(tái)真空計(jì)能安裝在不銹鋼腔體上同時(shí)進(jìn)行校準(zhǔn)。裝置內(nèi)要求6臺(tái)相接的真空計(jì)要求的真空度相同，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www.healwit.com.cn/）認(rèn)為這就需要在校準(zhǔn)的時(shí)候，用獨(dú)立的進(jìn)氣閥來設(shè)定并且控制真空度。

HiPace渦輪分子泵橫截面

圖3：HiPace渦輪分子泵橫截面

　　系統(tǒng)配件一覽

　　渦輪分子泵

　　渦輪分子泵(英簡(jiǎn): turbopumps, TMP)是由多級(jí)的，渦輪狀帶葉片的轉(zhuǎn)子通過一個(gè)無刷直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)復(fù)合軸承構(gòu)成。在轉(zhuǎn)子葉片之間，有一個(gè)定子葉片，定子葉片結(jié)構(gòu)與轉(zhuǎn)子相似，但與轉(zhuǎn)子成鏡像安裝。

　　分子泵的原理由是利用氣體分子和高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子互相碰撞而將氣體分子帶出系統(tǒng)外。氣體分子碰撞到轉(zhuǎn)子的表面反彈后，將會(huì)在其原來的熱分子速度之外獲得一部分與轉(zhuǎn)子表面運(yùn)動(dòng)方向平行的額外速度。為了避免分子間的干擾而使運(yùn)動(dòng)速度下降，平均自由程的距離必須大于葉片之間的距離。因此，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www.healwit.com.cn/）認(rèn)為就需要一個(gè)前級(jí)泵連接在分子泵的上游以確保分子泵內(nèi)粒子密度足夠的小。

　　普發(fā)真空渦輪分子泵出色的表現(xiàn)是因?yàn)椋?/p>

　　■ 氣體壓縮高，氣流量大

　　■ 前級(jí)壓力高

　　■ 整體式驅(qū)動(dòng)單元和冷卻系統(tǒng)

　　■ 高抽速：10 - 2,000 l/s

　　隔膜泵

　　隔膜泵由傳動(dòng)部分和隔膜缸頭兩大部分組成。通過進(jìn)氣閥把氣體引入腔室然后傳遞到出氣閥排出氣體。

　　在此應(yīng)用條件下，泵的最終壓力可達(dá)70 hPa，抽速最高可接近10 m³/h。

　　普發(fā)真空隔膜泵的優(yōu)勢(shì)：

　　■ 干泵無油

　　■ 膜片經(jīng)久耐用

　　■ 震動(dòng)低，噪音輕