直線推動驅(qū)動器主要由外筒、真空法蘭、移動法蘭、波紋管、推動桿、驅(qū)動軸等組成。外筒內(nèi)部的波紋管分別和真空法蘭以及移動法蘭焊接，實現(xiàn)伸縮和真空密封。移動法蘭的兩端分別與驅(qū)動軸和推動桿連接。操縱推動桿，則驅(qū)動軸可在真空中直線移動。

　　真空法蘭內(nèi)側(cè)設(shè)置準直部件，確保驅(qū)動軸不會擺動。外筒開有長條孔，固定在移動法蘭外壁上的指針沿著長條孔移動，達到指示驅(qū)動軸移動位置的目的。外筒側(cè)壁設(shè)置固定螺絲，可將推動桿固定在任意位置。

　　直線推動驅(qū)動器中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧銅材料，可耐高溫烘烤，適合在超高真空系統(tǒng)中的使用。

　　直線推動驅(qū)動器的示意圖參照圖1。

圖1 直線推動驅(qū)動器的示意圖