幾種典型的超高真空系統(tǒng)圖
由于原子能工業(yè)和火箭技術(shù)的發(fā)展，超高真空技術(shù)也得到迅速發(fā)展和應(yīng)用。其系統(tǒng)有如下幾種。
①用擴(kuò)散泵和鈦泵并聯(lián)為主泵，擴(kuò)散泵單獨串聯(lián)前級機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。圖17所示，稱為鈉燈超高真空封接爐的系統(tǒng)�？梢赃_(dá)到極限真空度為1.33×10-6Pa。
②由擴(kuò)散泵串聯(lián)擴(kuò)散泵(中間泵)，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。如圖18，是一個超高真空系統(tǒng)和設(shè)備的結(jié)構(gòu)圖。主泵是一個水銀擴(kuò)散泵，泵頂有冷卻擋板和液氮冷阱，中間泵也是水銀擴(kuò)散泵。在中間泵和前級機(jī)械泵之間設(shè)有油蒸氣捕集器。并設(shè)有各種單獨的加熱器，烘烤真空室和主泵頂部及捕集器。該系統(tǒng)的特點是能獲得超高真空，并能穩(wěn)定工作。
圖18：超高真空系統(tǒng)圖
③主泵為分子泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)，該種超高真空系統(tǒng)，由于機(jī)械泵有油存在，需要在機(jī)械泵入口管道上設(shè)置捕集器冷凝油蒸氣。如果分子泵串聯(lián)分子篩吸附泵(前級泵)，則構(gòu)成了無油超高真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)比較清潔。
④用鈦泵或濺射離子泵做為主泵。并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵(做為預(yù)真空泵)，構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng)．如圖19所示。也可以用鈦泵聯(lián)接預(yù)真空機(jī)械泵，但此時機(jī)械泵的入口管道上要加油蒸氣捕集器。
⑤用低溫泵做為主泵，串聯(lián)或并聯(lián)分子篩吸附泵(預(yù)真空泵)，構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng)。同樣也可以用機(jī)械泵做為預(yù)真空泵，在機(jī)械泵入口管道上設(shè)置油蒸氣捕集器。
