介紹了超導(dǎo)波蕩器熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、調(diào)試。通過(guò)離子泵、吸氣劑泵以及系統(tǒng)低溫冷凝面的聯(lián)合抽氣作用，使系統(tǒng)在常溫下獲得7. 8 × 10^-8Pa 的真空度，在低溫下能夠獲得1. 7 × 10^-8Pa 的真空度，滿足光源儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)1. 3 × 10^-7Pa 的真空度要求。

　　超導(dǎo)波蕩器(SCU) 具有周期短、磁間隙小、磁場(chǎng)強(qiáng)度高和極化方式調(diào)節(jié)方便等優(yōu)點(diǎn)。將超導(dǎo)波蕩器和同步輻射光源結(jié)合，可產(chǎn)生高強(qiáng)度和高亮度的x射線，開(kāi)展生物分子結(jié)構(gòu)測(cè)定、癌癥早期診斷及治療等，極大地提升同步輻射光源的綜合研究能力。目前國(guó)外很多同步輻射機(jī)構(gòu)正在開(kāi)展超導(dǎo)波蕩器的樣機(jī)研制，但是在研制過(guò)程中遇到很多困難，其中一個(gè)關(guān)鍵的問(wèn)題是束流產(chǎn)生的熱負(fù)荷不能準(zhǔn)確估算，以至于無(wú)法確定選擇何種形式的超導(dǎo)波蕩器低溫冷卻方式。超導(dǎo)波蕩器熱負(fù)荷測(cè)試裝置就是用實(shí)驗(yàn)的方法較準(zhǔn)確的測(cè)量出束流產(chǎn)生的熱負(fù)荷，為超導(dǎo)波蕩器低溫系統(tǒng)的研制提供依據(jù)。由于超導(dǎo)波蕩器熱負(fù)荷測(cè)試裝置最終安裝在光源儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)一段直線節(jié)上，所以，真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認(rèn)為超導(dǎo)波蕩器熱負(fù)荷測(cè)試裝置同時(shí)必須是超高真空系統(tǒng)，必須滿足光源儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)的要求。

1、超高真空系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

　　光源儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)對(duì)超導(dǎo)波蕩器熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)提出的技術(shù)指標(biāo)是：常溫下真空系統(tǒng)壓力≤1.3 × 10^-7Pa;

2、熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)

　　熱負(fù)荷測(cè)試裝置如圖1 所示，主要由低溫系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、機(jī)械支撐系統(tǒng)、測(cè)量控制系統(tǒng)所組成，通過(guò)使用溫度計(jì)和加熱器，采用熱對(duì)抗法來(lái)測(cè)量束流經(jīng)過(guò)時(shí)所引起的熱負(fù)荷。超高真空系統(tǒng)是熱負(fù)荷測(cè)試裝置不可或缺的工作環(huán)境，是關(guān)鍵系統(tǒng)之一，超高真空系統(tǒng)的好壞直接影響光源的運(yùn)行穩(wěn)定和束流壽命的長(zhǎng)短。

　　超高真空系統(tǒng)如圖2 所示包括UHV 真空室、低溫脈沖管制冷機(jī)、50 K 低溫吸附冷屏、400 L 離子泵、SAES D400 - 2 吸氣劑泵、四極質(zhì)譜計(jì)、UHV - 24規(guī)管等組件。

圖1 熱負(fù)荷測(cè)試裝置

1. 測(cè)量控制系統(tǒng); 2. 低溫系統(tǒng); 3. 超高真空系統(tǒng); 4. 機(jī)械支撐系統(tǒng)

圖2 熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)示意圖

1. 低溫制冷機(jī); 2. 四極質(zhì)譜計(jì); 3. UHV 規(guī)管; 4. 真空室;5. 50 K 冷屏; 6. 400 L /S 離子泵; 7. 吸氣劑泵

2.1、常溫下超高真空獲得

　　初次進(jìn)行超高真空調(diào)試時(shí)，使用1 臺(tái)400 L /s的離子泵作為主泵，離子泵以無(wú)油、無(wú)震動(dòng)、極限真空高的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于加速器真空系統(tǒng)中。在常溫下熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)的主要?dú)廨d是真空室內(nèi)壁及真空室內(nèi)部件內(nèi)外表面的熱脫附氣載，包括真空室內(nèi)表面， 50 K 冷屏內(nèi)外表面等。對(duì)以上項(xiàng)目進(jìn)行統(tǒng)計(jì)計(jì)算得: 不銹鋼真空室內(nèi)表面積ASS =2. 65 m² ; 50 K 冷屏的表面積AOFHC = 3. 48 m²，常溫下不銹鋼和無(wú)氧銅的表面出氣率分別取2.76× 10 ^-10 Pa·L /s·cm² 和9. 04 × 10 ^-10 Pa·L /s·cm2 ; 總氣載Q = 3. 88 × 10 ^-5 Pa·L /s; 要獲得1. 3 ×10 ^-7 Pa 的極限真空，需要離子泵的有效抽速是298L /s，從計(jì)算結(jié)果來(lái)看，一臺(tái)400 L /s 離子泵勉強(qiáng)夠用但冗余太小。常溫下( 制冷機(jī)關(guān)閉) 對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行極限真空調(diào)試。對(duì)于烘烤溫度的選擇，通常情況，超高真空系統(tǒng)的烘烤溫度是200 ～ 250 ℃，但對(duì)本系統(tǒng)由于有50 K 冷屏等低溫部件，為增加傳導(dǎo)，零件連接處使用大量的金屬銦，而金屬銦的熔點(diǎn)是156℃，所以，烘烤溫度不超過(guò)150℃，最后選擇是，真空室烘烤溫度150 ℃，內(nèi)部50 K 冷屏的烘烤溫度控制在120 ℃，分別通過(guò)安裝在真空室和50 K 冷屏上的溫度計(jì)控制溫度。對(duì)真空室進(jìn)行150 ℃， 44 h 的烘烤，離子泵同時(shí)進(jìn)行烘烤，時(shí)間30 h，烘烤時(shí)間達(dá)到后，開(kāi)始降溫。24 h 后，由VARIAN UHV -24 電離規(guī)測(cè)的極限壓力是5. 3 ×10 ^-6 Pa，未達(dá)到1. 3 ×10 ^-7 Pa 的系統(tǒng)真空度要求，壓力隨時(shí)間變化曲線如圖3 所示。

圖3 壓力隨時(shí)間變化曲線

　　通過(guò)分析認(rèn)為，真空室未進(jìn)行真空爐高溫烘烤除氣、真空調(diào)試烘烤時(shí)間過(guò)短及一臺(tái)400 L /s 離子泵有效抽速冗余小是造成真空度不能達(dá)標(biāo)的主要原因。根據(jù)真空基本公式P = Q/S 可知，要想獲得更低的壓力P 有兩個(gè)途徑，即盡可能減少氣載Q 和盡可能增大有效抽速S。減少氣載可對(duì)真空室進(jìn)行真空爐高溫烘烤除氣處理和盡可能延長(zhǎng)烘烤時(shí)間，由于真空室設(shè)計(jì)尺寸過(guò)大，不能放入真空爐，所以真空室高溫烘烤除氣未能進(jìn)行，只能通過(guò)延長(zhǎng)真空調(diào)試烘烤時(shí)間來(lái)減少氣載。增大抽速可在真空室適當(dāng)增加離子泵等抽氣泵，可是真空室設(shè)計(jì)時(shí)未留CF150接口，所以離子泵無(wú)法增加。真空室側(cè)邊有兩個(gè)CF63 備用接口，利用這兩個(gè)接口，通過(guò)CF35 - CF63轉(zhuǎn)接法蘭，安裝兩臺(tái)意大利SAES 公司D400 - 2 吸氣劑泵。D400 - 2 吸氣劑泵的主要材料是St172( Zr- V - Fe) ，通過(guò)CF35 法蘭直接裝入真空系統(tǒng)，能獲得最佳的抽氣性能。對(duì)氫的抽速是400 L /s，對(duì)一氧化碳的抽速是180 L /s。吸氣劑泵通常的使用流程是真空系統(tǒng)調(diào)試到啟動(dòng)離子泵前夕，啟動(dòng)吸氣劑泵除氣程序，除氣電流2. 6 A，時(shí)間2 h。然后啟動(dòng)離子泵，當(dāng)烘烤停止，溫度降到100 ℃左右時(shí)，可啟動(dòng)吸氣劑泵的激活程序，激活電流5. 6 A，時(shí)間1 h。

　　這里要注意的是，吸氣劑泵激活時(shí)，由于氣載較大，可能導(dǎo)致離子泵保護(hù)，所以應(yīng)該事先接入分子泵機(jī)組幫助抽氣，直到離子泵能夠重新啟動(dòng)為止。經(jīng)過(guò)改進(jìn)后，常溫下( 制冷機(jī)關(guān)閉) 對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行第二次極限真空調(diào)試。對(duì)真空室進(jìn)行150 ℃，176 h 的烘烤后，離子泵同時(shí)進(jìn)行烘烤，時(shí)間160 h，烘烤時(shí)間達(dá)到后開(kāi)始降溫，24 h 后，由VARIANUHV - 24 電離規(guī)測(cè)的極限壓力是7. 8 × 10 ^-8 Pa 優(yōu)于1. 3 × 10 ^-7 Pa 的系統(tǒng)真空度要求。壓力隨時(shí)間變化曲線如圖4 所示。

圖4 壓力隨時(shí)間變化曲線

2.2、低溫下超高真空獲得

　　系統(tǒng)常溫下極限真空調(diào)試獲得后，分別開(kāi)啟兩臺(tái)低溫制冷機(jī)進(jìn)行降溫。系統(tǒng)使用兩臺(tái)脈沖管低溫制冷機(jī)，脈沖管低溫制冷機(jī)工作可靠，使用壽命長(zhǎng)，因其低溫段無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，所以幾乎沒(méi)有震動(dòng)，這是與其他類型低溫制冷機(jī)相比最大的優(yōu)點(diǎn)。光源儲(chǔ)存環(huán)對(duì)震動(dòng)要求非常苛刻，所以使用脈沖管制冷機(jī)非常合適。經(jīng)過(guò)24 h 降溫，系統(tǒng)基本平衡， 50 K 冷屏溫度降到57 K; 由VARIAN UHV - 24 電離規(guī)測(cè)的系統(tǒng)真空度是1. 7 × 10 ^-8 Pa。壓力、溫度隨時(shí)間變化曲線如圖5、6 所示。降溫后系統(tǒng)壓力進(jìn)一步下降，因?yàn)槔淦翜囟认陆档?0 K 左右時(shí)，冷屏的內(nèi)外表面就如同一臺(tái)冷凝泵，在平衡溫度下能產(chǎn)生每秒數(shù)千升的抽速，對(duì)系統(tǒng)壓力進(jìn)一步降低提供幫助。

圖5 壓力隨時(shí)間變化曲線

圖6 溫度隨時(shí)間變化曲線

3、結(jié)論

　　熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)常溫下極限真空調(diào)試達(dá)到7. 8 × 10 ^-8 Pa，優(yōu)于光源儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)1. 3 × 10 ^-7 Pa 的真空度要求。通過(guò)兩次常溫下真空調(diào)試說(shuō)明，使用在加速器上的真空室，如條件允許，應(yīng)進(jìn)行真空爐高溫烘烤除氣處理，從而降低材料表面出氣率，因?yàn)椴牧媳砻娉鰵馐窍到y(tǒng)主要?dú)廨d。如受真空系統(tǒng)尺寸限制不能進(jìn)行真空爐高溫烘烤除氣，必須保證100 ～ 150 ℃的烘烤溫度，時(shí)間在150 ～200 h。另外，有效抽速的計(jì)算值必須有較大的冗余，系統(tǒng)開(kāi)始所配泵抽速偏小，后增加兩臺(tái)400 L /s吸氣劑泵，效果明顯。熱負(fù)荷測(cè)試裝置超高真空系統(tǒng)常溫下真空度優(yōu)于光源真空系統(tǒng)要求，是降低材料表面出氣率和增加系統(tǒng)抽速兩方面作用的結(jié)果。低溫系統(tǒng)工作后可進(jìn)一步降低系統(tǒng)真空度。所以，即使低溫系統(tǒng)發(fā)生故障，也不會(huì)影響光源加速器正常運(yùn)行，因?yàn)槌�溫真空已�?jīng)達(dá)到所要求的指標(biāo)。目前，熱負(fù)荷測(cè)試裝置已在光源儲(chǔ)存環(huán)上工作了1 年多的時(shí)間，超高真空系統(tǒng)各項(xiàng)指標(biāo)工作正常。