采用鋯鋁16合金作為吸氣材料的新型泵一鋯鋁吸氣泵與濺射離子泵或分子泵結(jié)合，可以減少濺射離子泵或分子泵中氫的負(fù)載，構(gòu)成比較理想的超高真空系統(tǒng)。例如，對(duì)于較大的真空容器或電真空器件排氣臺(tái)，為獲得10^-8Pa 以上的超高真空度，較好的真空泵組合方式是分子泵加鋯鋁吸氣泵。在系統(tǒng)中利用渦輪分子泵作主抽泵，鋯鋁吸氣劑或鋯鋁吸氣泵作為輔助抽氣泵對(duì)電真空器件的排氣非常有意義，可以達(dá)到獲得潔凈超高真空的效果，該泵組配合可獲得10^-11Pa 的極高真空，這也是現(xiàn)階段大型系統(tǒng)獲得極高真空的比較經(jīng)濟(jì)的方式。

　　圖1 所示為一臺(tái)用于電真空器件排氣的典型的分子泵加鋯鋁吸氣泵真空系統(tǒng)。

　　由于渦輪分子泵對(duì)氫的壓縮比最小，所以分子泵系統(tǒng)中的殘余氣體主要是氫，分子泵的極限壓力主要取決于氫氣的分壓力。選用抽氫效率高的鋯鋁吸氣泵作為輔助泵與分子泵匹配，是分子泵真空系統(tǒng)獲得超高真空簡(jiǎn)便、易行的措施。

　　鋯鋁16 合金有著良好的吸氫性能。對(duì)于氫氣，即使在室溫下，也可以進(jìn)行內(nèi)部擴(kuò)散。實(shí)測(cè)表明，GL16 型鋯鋁吸氣泵在工作溫度400℃下，對(duì)氫氣的名義抽速高達(dá)500 L/s。由于鋯鋁16 合金吸附氫氣是可逆進(jìn)行，合金中的氫濃度完全取決于溫度。當(dāng)溫度升高時(shí)，鋯鋁合金內(nèi)部溶解的氫氣可被釋放出來(lái)，所以必須注意氫的平衡壓力和吸氣劑工作溫度及吸氣劑體內(nèi)氫濃度之間的依賴關(guān)系（見(jiàn)圖2）。

1.渦輪分子泵　2.高真空閥　3.放氣閥　4.GL16 型鋯鋁吸氣泵　5.B- A 規(guī)　6.熱偶規(guī)　7.粗抽閥　8.2X 型機(jī)械泵　9.前級(jí)閥

圖1 分子泵加鋯鋁吸氣泵真空系統(tǒng)

圖2 鋯鋁16 合金的氫平衡壓力曲線

　　實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在系統(tǒng)接近極限壓力時(shí)，鋯鋁吸氣泵采用較低的工作溫度，可以更有效的抽除殘余的氫，提高系統(tǒng)的極限真空度。由于分子泵、鉻鋁吸氣泵以各自獨(dú)特的抽氣性能與方式取長(zhǎng)補(bǔ)短，所以組合真空系統(tǒng)并不一定需要進(jìn)行嚴(yán)格的烘烤，即可在較短的時(shí)間內(nèi)獲得超高真空。分子泵可以在較寬的壓力范圍內(nèi)工作，有恒定的抽速，可以有效的抽除惰性氣體與碳?xì)浠�合物，�?duì)活性氣體分子也能很好的抽除作用。而鋯鋁16 合金是一種新型的非蒸散消氣劑，所以鋯鋁吸氣泵對(duì)H2、N2、CO2、CO、O2、H2O 等氣體有很高的抽速，這樣可以降低電真空器件殘余氣體中有害氣體的成份，從而保證分子泵加鋯鋁吸氣泵組合真空系統(tǒng)中清潔無(wú)油，從而改善殘余氣體的質(zhì)量，大大地提高電真空器件的性能。

　　由于分子泵加鋯鋁吸氣泵抽氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，用分子泵加鋯鋁吸氣泵獲得超高真空是一種良好的組合方式，可在超高或極高真空壓力范圍內(nèi)的電真空器件的排氣及其它領(lǐng)域中得到應(yīng)用。