圖1 所示為典型的分子泵加鈦升華吸氣泵的真空抽氣系統(tǒng)。該系統(tǒng)各零部件均按超高真空衛(wèi)生條件進(jìn)行清洗后組裝。渦輪分子泵，鈦升華泵的冷卻水壓力為0.03 MPa，鈦升華器可連續(xù)調(diào)節(jié)升華率。系統(tǒng)漏氣率＜10^{- 8} Pa·L/s，系統(tǒng)預(yù)抽真空為1 Pa，環(huán)境工作溫度為20～25℃。

1.分子泵　2.冷阱　3.放氣閥　4.鈦升華泵　5. 電離規(guī)　6. 熱傳導(dǎo)規(guī)　7.粗抽閥　8.機(jī)械泵　9.前級(jí)閥　10.高真空閥

圖1 分子泵加鈦升華泵真空系統(tǒng)

　　在系統(tǒng)中正確地使用鈦升華泵是一個(gè)很重要的問(wèn)題。一般應(yīng)該隨著系統(tǒng)真空度的變化采用不同的鈦升華率和工作周期，其目的是節(jié)約鈦的消耗量，以延長(zhǎng)鈦升華器的使用壽命。

　　該系統(tǒng)組裝好后，如果各部份都不烘烤去氣。開(kāi)動(dòng)機(jī)械泵預(yù)抽真空，當(dāng)真空達(dá)到1 Pa 時(shí)啟動(dòng)渦輪分子泵。系統(tǒng)最終可達(dá)到的真空度為10^{- 5} Pa。如果對(duì)系統(tǒng)烘烤去氣， 渦輪分子泵烘烤85℃，鈦升華泵烘烤350℃，B- A 規(guī)管（或冷磁控規(guī)管）烘烤350℃，烘烤時(shí)系統(tǒng)內(nèi)抽預(yù)真空為1 Pa。經(jīng)過(guò)徹底烘烤除氣（～24 h）后，啟動(dòng)渦輪分子泵和鈦升華泵一同工作，該系統(tǒng)最終真空度可達(dá)到1.5×10^{- 9} Pa。

　　采用渦輪分子泵和鈦升華泵組合系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)如下：

1.系統(tǒng)的極限真空度有所提高

　　兩泵組合使用后系統(tǒng)的極限真空度有所提高，在不烘烤的情況下也可以提高一個(gè)數(shù)最級(jí)以上，而且系統(tǒng)進(jìn)入高真空的時(shí)間短，故特別適用于不允許烘烤而工作周期短的無(wú)油真空系統(tǒng)。通過(guò)烘烤去氣后，該系統(tǒng)最終能達(dá)到10^{- 9} Pa的真空度�？梢杂糜跇O限真空度高的無(wú)油真空系統(tǒng)中。另外，分子泵加鈦升華泵系統(tǒng)的使用與維護(hù)方便，成本低廉。

2.抽速增加

　　該系統(tǒng)對(duì)空氣、氮?dú)�、氫氣的抽速都大于該系統(tǒng)兩泵單獨(dú)抽速相加關(guān)系。抽速的增加可以解釋為氣體中的惰性氣體被分子泵排走，而且質(zhì)量越大，排走的幾率也越大，這樣升華泵內(nèi)鈦膜被惰性氣體占去的空位幾率少，能充分發(fā)揮鈦升華泵鈦膜的有效吸氣作用。鈦膜對(duì)象氬這樣的惰性氣體的吸氣能力較低，惰性氣體主要由分子泵來(lái)抽除。只要不用該系統(tǒng)來(lái)排除純惰性氣體或含惰性氣體多的氣體。該合系統(tǒng)的適用性是很強(qiáng)的，對(duì)提高真空系統(tǒng)的性能和降低成本是大為有利的。