干泵及其在大半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司

張振厚

　　摘要：大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為我國鼓勵、支持發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)近幾年得到了快速發(fā)展。

　　本文介紹了國內(nèi)外干泵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及其主要生產(chǎn)廠家、干泵的發(fā)展趨勢。從大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)概念入手，通過對大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢以及真空應(yīng)用設(shè)備的需求分析，介紹了干泵在大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，并對干泵的技術(shù)發(fā)展提出了個人建議。

　　目前干泵基本上還需要使用知名的進口品牌，否則會惹麻煩的!一般都用 ebara 或 edward 吧

　　我們真心希望能夠大量使用國貨，但半導(dǎo)體及相關(guān)制造業(yè)對保證設(shè)備運行的可靠性方面要求極高。所用過的機械泵，從噪聲方面說，萊寶的泵使用10年后噪聲依然如新泵。而國產(chǎn)的泵即使是新的，噪聲就較高(我曾經(jīng)用過一家國內(nèi)生產(chǎn)的干泵，那噪聲和裝甲車差不多)。據(jù)說主要的原因是他們校正轉(zhuǎn)軸的要求特別高。國產(chǎn)的泵另一個特點是：一經(jīng)鑒定成型后，較少再投入進行設(shè)備的優(yōu)化和改進性能。一個新產(chǎn)品出來總有這樣那樣的缺點，這點上大家都可以理解，但不能理解的是為什么沒有再改進再優(yōu)化的過程了。一點淺見：主要是人們不怎么相信國產(chǎn)設(shè)備的可靠性。