螺桿式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)原理
2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
螺桿式無油機械真空泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。
螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。
圖25：螺桿式機械真空泵
圖 25 為日本橙山工業(yè)株式會社的 SDV-1500 泵的結(jié)構(gòu)示意圖。泵是立式結(jié)構(gòu)，進氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機和潤滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。
這種類型的泵如果選用適當?shù)妮^簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。
與無油干式機械真空泵相關(guān)的其它主題：
