1、不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

　　2、分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

　　3、選擇系統(tǒng)前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

　　4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運行。

　　5、分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。