回轉(zhuǎn)型機構(gòu)最大的優(yōu)點,是非接觸式的,能夠高速運轉(zhuǎn),可得到較高的抽速。但作為干式泵而言, 非接觸式轉(zhuǎn)子的冷卻是困難的。然而對于往復(fù)式活塞泵來說,活塞和氣缸的外表面都能和周圍大氣接觸,很容易被大氣對流散熱, 而驅(qū)動機構(gòu)也處在大氣之中,有利于散熱。目前有多級干式活塞泵(VRC型)串、并聯(lián)工作,極限壓力3～93Pa,抽速140～280L/m in。四級的往復(fù)式活塞泵,其結(jié)構(gòu)布置如圖9所示。

圖9　往復(fù)式活塞真空泵的抽氣原理

         這種泵由于有接觸式的密封故壓縮比可達(dá)到5×10⁴～10⁵,它能從大氣壓抽到極限壓力1Pa, 抽速為24m³/h。

         活塞為階梯狀,在全長上有低摩擦系數(shù)的PTFE復(fù)合材料作成的襯墊保護(hù),而氣缸表面作硬化處理。故滑動面無需潤滑。階梯狀活塞小直徑處用唇形動密封,泄漏較少。為了增加抽速, 活塞1和2并聯(lián), 而最后的活塞4 是雙向作用的,提高了活塞泵壓縮比。在高壓區(qū)時活塞1和2可通過輔助排氣閥直接向大氣中排氣, 作為單級泵使用了,只有當(dāng)入口壓力下降時, 四級才串聯(lián)壓縮。這種泵最大特點是無油程度較高,顆粒物進(jìn)入會影響泵的正常工作。這是它的缺點。