機械真空泵
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復(fù)合分子泵牽引級參數(shù)對氦質(zhì)譜檢漏儀性能的影響研究
復(fù)合分子泵作為氦質(zhì)譜檢漏儀的重要部件,其自身的幾何參數(shù)在影響抽氣性能的同時也影響檢漏儀的檢測性能。
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往復(fù)式真空泵工作原理圖
往復(fù)式真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞,活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的。往復(fù)式真空泵的主要缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積較大,運轉(zhuǎn)時振動較大等
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旋片式真空泵工作原理演示圖
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成,旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。
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渦旋式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)特點
渦旋式無油機械真空泵是從渦旋式壓縮機演變而來的一種新型的干式真空泵。 該泵特點是重量輕、體積小,為臥式結(jié)構(gòu),可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ,是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。
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爪形轉(zhuǎn)子干式機械真空泵工作原理
爪形轉(zhuǎn)子干式機械真空泵 ( 爪式泵 ) 屬于屬于旋轉(zhuǎn)式容積真空泵,它在泵殼內(nèi)具有兩個共軛嚙合的爪形轉(zhuǎn)子,同時具有羅茨真空泵和旋片真空泵的優(yōu)點。
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活塞式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)
活塞式無油真空泵的外形呈扁方形,是由四個階梯形活塞及四個階梯形氣缸組成。與電機直聯(lián)的軸通過四根連桿帶動四個活塞;钊谋趁婵臻g由次級活塞抽氣,以減少泄漏和降低極限壓力。每個氣缸都有進氣閥與排氣閥。
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無油干式機械真空泵概述
無油干式機械真空泵 ( 以下簡稱干式機械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
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復(fù)合式分子泵的結(jié)構(gòu)特點
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。
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分子泵產(chǎn)生振動的原因與減振措施
分子泵的振動,主要是其振動零部件的不平衡引起的,主要因素有渦輪轉(zhuǎn)子以及電動機主軸的不平衡、共振、主軸的支承條件。在泵的設(shè)計制造中采取一系列的措施可以減少泵的振動。
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渦輪分子泵的抽氣原理
渦輪分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個必要條件: 1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。
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羅茨泵(羅茨泵機組)有效抽速的計算
羅茨泵機組中的前級泵與主泵的配比也相當(dāng)重要。若配用前級泵不當(dāng),則機組的有效抽速達(dá)不到羅茨直空泵技術(shù)條件規(guī)定的要求。一般機組中羅茨泵的理論抽速與前級泵理論抽速的配比關(guān)系為 5:1 ~ 8:1 。
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