低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達到排氣的效果，是獲得潔凈真空的一種有效、快捷的方法。

　　低溫泵能夠達到極高真空(10^-11 Pa)，有排氣速度快、無油和安裝方向不受限制等優(yōu)點，其構(gòu)造如圖1所示。

圖1　低溫泵的構(gòu)造示意圖

1—一級冷臺；2—二級冷臺；3—低溫罩；4—屏蔽罩；5—擋板

　　低溫泵的一級冷臺上，設(shè)置屏蔽罩和擋板，溫度維持在80K。二級冷臺維持在15K，上面設(shè)置低溫罩和活性炭吸附劑。

　　水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上；氮氣、氧氣和氬氣凝固在15K低溫罩上；氫氣、氦氣和氖氣被吸附在15K低溫罩內(nèi)側(cè)的吸附劑上。低溫泵可以對所有氣體排氣，但是如果吸附的氣體量過多，則排氣速度降低。這時，需要將低溫泵加熱，放出吸附的氣體后，重新使用。