真空技術(shù)網(wǎng) - 專業(yè)研究真空、真空技術(shù)及真空泵等真空設(shè)備的真空網(wǎng)。
低溫泵的測試系統(tǒng)原理圖如圖1所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測試容器、真空規(guī)、氣體流量計和閥門等。
皮拉尼規(guī)、BA規(guī)和氣體流量計由北京航天計量測試技術(shù)研究所計量，硅二極管、PT100以及低溫儀表由中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所低溫計量中心計量。
低溫泵的二級冷板和障板上安裝了4個硅二極管測溫傳感器，低溫泵的防輻射屏上安裝了3個PT100測溫傳感器，為了簡化圖表的顯示，二級冷板的溫度或者防輻射屏和障板的溫度均為這些傳感器測試值的平均值。
測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和尺寸嚴格按照行業(yè)標準JB/T11081-2011中流量法測試低溫泵性能參數(shù)的要求進行搭建，具體對低溫泵的抽速、渡越容量及降溫時間的測試流程也按照標準的要求進行。
圖1 低溫泵測試系統(tǒng)
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)
低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來獲得和保持真空。本文圖文詳解低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)。
低溫泵的測試系統(tǒng)原理圖如圖所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測試容器、真空規(guī)、氣體流量計和閥門等。
低溫抽氣超高真空系統(tǒng)的烘烤
為了提高磁力驅(qū)動冷凝泵的抗汽蝕性能，在泵葉輪入口處配置了變螺距誘導(dǎo)輪，并建立了吸入口配置變螺距誘導(dǎo)輪和未配置變螺距誘導(dǎo)輪
介紹了羅茨泵工作原理的基礎(chǔ)上, 通過對羅茨泵主要零部件的分析, 以及在使用不同軸承時產(chǎn)生噪聲的原因進行了探討
介紹了螺旋槽氣膜浮環(huán)密封的結(jié)構(gòu)特點
低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達到排氣
分析了冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理, 詳細敘述了工作時的相位關(guān)系
本文對一種低溫泵的吸附陣結(jié)構(gòu)分析并設(shè)計了一種結(jié)合自動控制功能
低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來獲得
本文根據(jù)低溫泵的介質(zhì)的供應(yīng)方式將低溫泵進行了分類，并簡單的描
本文以實例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用； 重點介紹了低溫
介紹了帶制冷機冷卻的超導(dǎo)磁體系統(tǒng)杜瓦的設(shè)計、制作及實驗結(jié)果分
介紹了用于大口徑低溫泵的R65制冷機的結(jié)構(gòu)設(shè)計，回?zé)崞鞯脑O(shè)計及
本文通過介紹CTI 400冷凝泵工作原理，常見的故障與產(chǎn)生這些故障
