低溫泵的再生是使泵內(nèi)吸附凝結(jié)所貯存的氣體解析和脫附的過(guò)程，再生的方式有多種，其所需時(shí)間和再生效果也有所不同。

　　從原理上講，低溫泵捕集的氣體可以以固態(tài)、氣態(tài)或液態(tài)方式除去，由于以固態(tài)方式除去冷凝物存在一定的技術(shù)難度，所以目前大多低溫泵所采用的都是后兩種方式。根據(jù)加熱方式的不同，再生方式一般分為：自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三種類型。

　　自然加熱再生是最簡(jiǎn)單的低溫泵再生方法，它是利用泵壁與周圍空氣的熱交換來(lái)使泵升溫的，在剛開(kāi)始再生時(shí)，由于泵內(nèi)真空度較高，因此主要是依靠泵壁的熱輻射和泵內(nèi)的熱傳導(dǎo)使冷板逐漸升溫，這個(gè)升溫過(guò)程相當(dāng)緩慢。當(dāng)壓力升高到10^-1～10 Pa 范圍后，對(duì)流換熱才開(kāi)始起比較大的作用。自然加熱再生需要的時(shí)間很長(zhǎng)，一般需十幾個(gè)小時(shí)。由于自然加熱再生一般利用低溫泵的過(guò)壓保護(hù)閥排氣，在這種情況下，如果泵內(nèi)壓力能夠和其環(huán)境壓力達(dá)到完全平衡，那么泵內(nèi)融化的冰水會(huì)留在底板上，而且室溫下活性炭將吸附高分壓的水蒸氣，因而泵在使用過(guò)程中需要進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的初抽，而且泵的極限壓力也會(huì)受到影響。自然加熱再生一般只用于一些對(duì)泵性能要求不高的場(chǎng)合。

　　氣體沖洗再生是應(yīng)用很普遍的一種方法，它利用沖入泵內(nèi)的室溫或加熱的干燥的惰性氣體（N₂ 或Ar）對(duì)泵進(jìn)行加熱，它有恒壓法和脈沖沖洗法兩種形式。因?yàn)槟軌蜻M(jìn)行有效的對(duì)流熱交換，所以可以縮短再生時(shí)間，而且氣體沖洗有利于水蒸氣從活性炭中脫附出來(lái)，提高了低溫泵的再生質(zhì)量，另外它還能稀釋泵內(nèi)貯存的有毒和爆炸性的氣體。

　　電加熱再生是一種經(jīng)濟(jì)的再生方法，目前有兩種不同的加熱方式，一種是利用加熱帶裹在泵壁外表進(jìn)行加熱，另一種是利用泵內(nèi)冷頭上的加熱板進(jìn)行加熱。由于低溫泵中的部分元件不能承受高溫，因而需要對(duì)加熱過(guò)程進(jìn)行控制。

　　采用加熱帶加熱方式時(shí)，可以選用自限溫型的加熱帶，也可以由溫控儀表進(jìn)行控制。采用銠鐵電阻溫度傳感器做二極冷頭溫度測(cè)量的低溫泵可以利用這個(gè)傳感器對(duì)加熱帶進(jìn)行控制，但是由于這種情況下所測(cè)量的溫度值不能準(zhǔn)確反映泵壁處的溫度，因此需要采取一些措施來(lái)避免過(guò)溫現(xiàn)象的發(fā)生。加熱帶的使用很方便，而且這種方式所需的再生時(shí)間要比自然加熱再生要短，提高了再生效率。但單獨(dú)采用加熱帶對(duì)低溫泵再生時(shí)，再生時(shí)間仍比較長(zhǎng)，而且如果采用過(guò)壓閥進(jìn)行排氣，也存在和自然加熱再生方式中類似的問(wèn)題。

　　采用加熱帶加熱和氣體沖洗配合使用能夠比單獨(dú)采用氣體沖洗縮短很多時(shí)間。使用加熱帶進(jìn)行再生，無(wú)需對(duì)泵原有的結(jié)構(gòu)進(jìn)行任何改動(dòng)，因此比較經(jīng)濟(jì)實(shí)用，提高了泵的使用效率。采用加熱板進(jìn)行加熱也是一種很經(jīng)濟(jì)有效的再生方式。一般低溫泵的兩級(jí)冷頭上各有一個(gè)加熱板，兩個(gè)加熱板是獨(dú)立的，加熱板與冷頭是緊密接觸的，因而能夠通過(guò)熱傳導(dǎo)直接對(duì)冷板加熱，再生只需很短的升溫時(shí)間，采用這種再生方式需要對(duì)兩個(gè)冷頭的溫度進(jìn)行測(cè)量，并根據(jù)測(cè)溫結(jié)果對(duì)兩個(gè)加熱板的功率進(jìn)行調(diào)節(jié)，由于加熱板的功率較小，其熱慣性也比較小，可以采用開(kāi)關(guān)式控制方法�？紤]到安全問(wèn)題， 加熱板一般采用安全的低壓交流電（24VAC）供電。為了獲得較好的再生質(zhì)量，再生加熱過(guò)程中要與粗抽配合應(yīng)用。采用加熱板進(jìn)行加熱再生的方式時(shí)，系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)要復(fù)雜一些。