制冷機(jī)低溫泵的維護(hù)可分為定期維護(hù)和日常運(yùn)行維護(hù)兩類。

定期維護(hù)

　　對于制冷機(jī)低溫泵而言，所需要定期維護(hù)的就是在10000 h 運(yùn)行后更換壓縮機(jī)吸附器。但對各類不同的低溫泵所要求的定期維護(hù)期也不同。我們知道，由壓縮機(jī)排出的高壓氦氣流，實際上是油氣混合物，它經(jīng)過熱交換器和分油器后，使油氣分開，但是進(jìn)入吸附器的氦氣流仍然含有油分子和油的裂解物。當(dāng)吸附器對油分子和油的裂解物吸附速率等于或小于壓縮機(jī)排氣流所含的油分子或油的裂解物時，吸附器就必須更換。

日常運(yùn)行維護(hù)

補(bǔ)氣

　　正常運(yùn)轉(zhuǎn)的低溫泵通常很少需要補(bǔ)氣，如果制冷系統(tǒng)的補(bǔ)氣頻率很高時，就必須嚴(yán)格檢查系統(tǒng)有否有漏氣。因為通過反復(fù)補(bǔ)氣會導(dǎo)致制冷系統(tǒng)的污染，從而導(dǎo)致低溫泵無法工作。

冷捕集的應(yīng)用

　　在制冷機(jī)低溫泵的長期運(yùn)行中，由于前述的種種原因使制冷機(jī)的工作氣體受到污染，當(dāng)污染較嚴(yán)重時，表現(xiàn)在制冷機(jī)制冷系統(tǒng)驅(qū)動機(jī)構(gòu)的運(yùn)動遲緩或間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)污染嚴(yán)重時，制冷單元的驅(qū)動機(jī)構(gòu)會卡住，并且不能運(yùn)動。

　　冷捕集的方法是將制冷機(jī)低溫泵制冷到最低溫度后，運(yùn)行1～2 h，讓氦氣流中的各種雜質(zhì)氣體在各級冷頭凍結(jié)，時間愈長，效果愈好。然后關(guān)掉低溫泵總電源，立即拆除制冷機(jī)的排氣管道與進(jìn)氣管道。讓低溫泵一二級冷陣回溫，達(dá)到室溫后方再用高壓氦氣充洗，或用泵抽空這兩種方法排出被凍結(jié)下來的雜質(zhì)氣體。

低溫吸附器的更換

　　制冷機(jī)低溫泵在長期工作過程中，不斷受到被抽容器中的灰塵、雜質(zhì)、腐蝕性物質(zhì)及油蒸汽等的污染，時間愈長，污染愈嚴(yán)重，當(dāng)?shù)蜏乇梦�附器的吸附劑被�?yán)重污染時，它對He、Ne、H2 等非凝性氣體的抽氣能力下降，甚至無法工作，此時就必須更換二級冷陣的吸附器。