如果濺射離子泵在啟動(dòng)后出現(xiàn)泵體過(guò)熱的情況要立刻停止工作, 進(jìn)行檢修。此類故障的發(fā)生通常是由于濺射離子泵泵內(nèi)壓強(qiáng)過(guò)高或者油氣進(jìn)入。

 放氣

      飽和的吸氣劑在一定的條件下會(huì)重新釋放出氣體, 氣體密度的增加會(huì)使空間內(nèi)離子碰撞的幾率增加, 放電加劇, 形成雪崩效應(yīng), 產(chǎn)生輝光放電甚至弧光放電, 最終燒毀極板。如圖4 陰極板被擊穿。

      有資料說(shuō), 濺射離子泵短時(shí)間暴露于大氣不會(huì)造成損壞, 但是還是要盡量避免。

油污染

      油進(jìn)入濺射離子泵泵體內(nèi)部首先的危害是污染真空系統(tǒng)。大量油的進(jìn)入還會(huì)損壞真空泵。油污染的來(lái)源有兩個(gè), 一個(gè)來(lái)自前級(jí)機(jī)械泵, 另一個(gè)是在拆泵重裝時(shí)進(jìn)入的。嚴(yán)重的油污染會(huì)縮短泵的使用壽命, 甚至使泵報(bào)廢。

     此類故障需要采取預(yù)防措施。首先對(duì)前級(jí)泵的濾油網(wǎng)要定期檢修。其次在拆泵重裝時(shí), 要保證在清潔的環(huán)境下進(jìn)行, 并帶干凈的手套, 嚴(yán)禁徒手觸摸泵內(nèi)部的元件。

進(jìn)氣

     大量進(jìn)氣導(dǎo)致放電加劇, 陰陽(yáng)極板受轟擊發(fā)熱。濺射離子泵泵體嚴(yán)重漏氣會(huì)導(dǎo)致此類故障發(fā)生。