濺射離子泵的抽氣特性

2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理

　　1、濺射離子泵的極限壓強：可達10-10Pa。

　　2、濺射離子泵的抽速：在高真空時，二極型濺射離子泵每一陽極格子的抽速經驗公式為

二極型濺射離子泵的抽速經驗公式

　　二極型濺射離子泵的抽速經驗公式

　　式中h 為陽極筒高度(cm);Ua為陽極電壓(V);H 為磁場強度(A/m);d 為陽極簡直徑(cm);e = 2.71828。

　　多個陽極筒組成一臺濺射離子泵以后，其總抽速不考慮泵口流導影響)為：

　　So = m·nfs (L/s) (6)

　　式中m 優(yōu)為泵高方向并聯(lián)單元組數(shù);n 為泵深方向每一縱行單元數(shù);f 為抽速有效系數(shù)，與單元排列有關;s為每一單元的抽速。

　　3、濺射離子泵在抽除惰性氣體時，二極泵會出現(xiàn)氬不穩(wěn)定性。

　　4、濺射離子泵對有機蒸氣污染敏感，連續(xù)抽30min油蒸氣就會使泵起動困難。

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