分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計(jì)的一種真空泵。它是目前獲得無油超高真空較為理想的一種予抽泵。

一、分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)要求

　　分子篩吸附泵要滿足如下幾個(gè)條件。

　　1、使分子篩能得到充分冷卻。

　　2、使被抽氣體易于深入分子篩內(nèi)部。

　　3、節(jié)省液氮的消耗量。

　　4、易于對分子篩加熱再生。

　　5、必須設(shè)置安全閥。

二、分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型

　　按冷卻方式不同，可分為內(nèi)冷式和外冷式。

圖1：內(nèi)冷式分子篩吸附泵機(jī)構(gòu)示意圖

　　1、內(nèi)冷式

　　如圖l所示。泵外殼用不銹鋼制成。分子篩放在無氧銅翼片上，四周有鎳網(wǎng)圍住，防止分子篩漏掉。翼片間距適當(dāng)。以保證分子篩的充分冷卻。由上蓋板的兩個(gè)孔注入液氮后，分子篩便大量吸氣，泵內(nèi)被抽成真空。

　　當(dāng)液氮消耗完畢，分子篩吸附的氣體緩慢放出，泵內(nèi)壓強(qiáng)超過一個(gè)大氣壓時(shí)，沖開安全閥的氟橡膠塞子，氣體排入大氣中。這種吸附泵用7～8次后需加熱再生一次。再生電爐是細(xì)棒狀，由液態(tài)注入口插入，可使分子篩被加熱到300～500oC。

圖2：外冷式分子篩吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖

　　2、外冷式

　　如圖2所示。泵殼是一個(gè)不銹鋼圓筒，焊上輻射狀銅制導(dǎo)熱片(圖a)或液氮冷卻管(圖b)，以保證分子篩冷卻良好，泵的中心安放一個(gè)頂端封閉的圓柱狀金屬網(wǎng)筒，以保證氣路暢通。

　　分子篩放在這些導(dǎo)熱片(或液氮冷卻管)與網(wǎng)筒之間。吸附泵套上一只塑料筒盛放液氮;分子篩需加熱再生時(shí)，把它卸下，另裝一“穿衣式”電爐加熱。