氣體捕集式真空泵的幾種類型

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分以下幾種型式。

1、吸附泵

　　它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。

2、吸氣劑泵

　　它是一種利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。

3、吸氣劑離子泵

　　它是使被電離的氣體通過電場(chǎng)或電磁場(chǎng)的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣目的的。它有如下兩種型式。

　　(1)蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。例如軌旋式離子泵(或稱彈道式鈦泵)。

　　(2)濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。

4、低溫泵

　　它是利用低溫表面捕集氣體的真空泵。