10月14日，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科儀”)發(fā)布公告稱(chēng)，中科儀與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“大基金”)、宿遷渾璞五期集成電路產(chǎn)業(yè)基金(有限合伙)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“渾璞投資”)和國(guó)科科儀控股有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“國(guó)科科儀”)達(dá)成戰(zhàn)略投資意向，擬于近期簽訂戰(zhàn)略投資協(xié)議。

　　根據(jù)協(xié)議，大基金、渾璞投資和國(guó)科科儀就中科儀真空干泵產(chǎn)業(yè)化升級(jí)等戰(zhàn)略投資事宜達(dá)成意向，投資金額分別為不超過(guò)人民幣1.4億元、7000萬(wàn)元、5000萬(wàn)元，投資方式包括但不限于受讓老股、認(rèn)購(gòu)新股等。

　　中科儀是一家專(zhuān)業(yè)從事真空儀器裝備、真空獲得設(shè)備研制生產(chǎn)并服務(wù)于集成電路產(chǎn)業(yè)及科研領(lǐng)域的企業(yè)。公告表示，中科儀獲得國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)支持的真空干泵已經(jīng)在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力微電、北方華創(chuàng)等國(guó)內(nèi)知名集成電路生產(chǎn)制造企業(yè)及集成電路裝備制造企業(yè)產(chǎn)業(yè)化推廣，打破了一直以來(lái)由國(guó)外廠家壟斷的局面，目前，該公司是國(guó)內(nèi)唯一一家在集成電路領(lǐng)域替代進(jìn)口的真空干泵生產(chǎn)制造企業(yè)。

　　在集成電路生產(chǎn)線(xiàn)種類(lèi)眾多的整機(jī)裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環(huán)境生產(chǎn)組裝。真空干泵及真空閥門(mén)是關(guān)鍵的潔凈真空子系統(tǒng)，其作用是獲得、維持與控制集成電路裝備整機(jī)潔凈真空運(yùn)行環(huán)境，在生產(chǎn)線(xiàn)中應(yīng)用最為普遍，市場(chǎng)需求巨大。

　　中科儀研發(fā)團(tuán)隊(duì)先后攻克了集成電路制造工藝與潔凈真空獲得系統(tǒng)優(yōu)化組合、全新理論型線(xiàn)設(shè)計(jì)與多種轉(zhuǎn)子形式組合、全新密封結(jié)構(gòu)和振動(dòng)/噪聲抑制方法、表面防腐技術(shù)、獨(dú)特的控制/反饋軟件與通用控制接口結(jié)合、閥門(mén)密封技術(shù)以及獨(dú)特的電機(jī)與驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù)。

　　此外，作為國(guó)內(nèi)干泵的領(lǐng)軍企業(yè)，中科儀承擔(dān)了國(guó)家發(fā)改委振興東北老工業(yè)基地高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程專(zhuān)項(xiàng)——IC裝備超潔凈真空的研制并開(kāi)展了系統(tǒng)項(xiàng)目的實(shí)施工作，組織承擔(dān)并完成了國(guó)家“十五”IC裝備重大專(zhuān)項(xiàng)子課題——IC生產(chǎn)線(xiàn)用羅茨干泵項(xiàng)目。

　　今年8月，中科儀發(fā)布股票發(fā)行預(yù)案，擬非公開(kāi)定向發(fā)行股票，預(yù)計(jì)募集資金不超過(guò)3億元，要用于補(bǔ)充流動(dòng)資金、新一代高效節(jié)能真空干泵研發(fā)、建立干泵產(chǎn)業(yè)化基地、技術(shù)服務(wù)和維修中心建設(shè)。

　　中科儀未在公告中提及此次即將簽訂的戰(zhàn)略投資協(xié)議是否與上述募資事項(xiàng)有關(guān)，其表示本協(xié)議對(duì)公司的業(yè)務(wù)獨(dú)立性不構(gòu)成影響，公司主要業(yè)務(wù)不存在因履行本協(xié)議而對(duì)合作方形成依賴(lài)的可能性。

　　但無(wú)論如何，大基金、渾璞投資等戰(zhàn)略投資者的關(guān)注及加入，將有望助力中科儀真空干泵進(jìn)一步產(chǎn)業(yè)化，加速?lài)?guó)產(chǎn)真空干泵發(fā)展升級(jí)。