記者在東北大學(xué)獲悉，該校自主研發(fā)的干式真空泵達(dá)到國際先進(jìn)水平，對水電能耗分別降低了31.2%和27.6%，污水處理量減少了99.5%，為我國IC制造業(yè)快速健康發(fā)展掃清了障礙。

　　據(jù)介紹，干式真空泵是IC裝備行業(yè)清潔真空獲得設(shè)備，也是保障行業(yè)發(fā)展的重要裝備。由于IC裝備潔凈真空環(huán)境獲得技術(shù)集成了稀薄氣體流體力學(xué)、真空技術(shù)、微電子裝備、精密流體機(jī)械加工技術(shù)、自動控制技術(shù)等多個學(xué)科的前沿高新技術(shù)，產(chǎn)業(yè)技術(shù)門檻高，長期以來干式真空泵的研發(fā)與生產(chǎn)一直被英國愛德華、德國普發(fā)等幾家國際跨國公司所壟斷。然而，由于過度依賴進(jìn)口，對我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈自給安全構(gòu)成嚴(yán)重威脅。

　　東北大學(xué)機(jī)械工程與自動化學(xué)院巴德純教授與中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司合作，在國家科技重大專項(xiàng)、國家863等項(xiàng)目支持下，帶領(lǐng)課題組成員從稀薄氣體輸送原理、多物理場耦合方法、運(yùn)轉(zhuǎn)態(tài)環(huán)境模擬技術(shù)和工程實(shí)際應(yīng)用等四個視角進(jìn)行了二十年系統(tǒng)深入的自主研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，建立和發(fā)展了面向干泵類產(chǎn)品的多維度、運(yùn)轉(zhuǎn)態(tài)集成設(shè)計的新方法，搭建了干泵理論分析設(shè)計平臺，解決了長期困擾國產(chǎn)干泵的技術(shù)瓶頸。

　　以清華大學(xué)賈培發(fā)教授為主任，眾多技術(shù)專家組成為組員的驗(yàn)收委員會一致認(rèn)為，項(xiàng)目“完成轉(zhuǎn)子型線分析、優(yōu)化設(shè)計和泵內(nèi)流場理論分析，并搭建了干泵的設(shè)計平臺(理論部分)，指導(dǎo)干泵的設(shè)計”，達(dá)到了國際先進(jìn)水平。

　　取得理論與技術(shù)的突破后，課題組乘勢而上，先后開發(fā)了多個具有自主知識產(chǎn)權(quán)的干式真空泵(機(jī)組)。產(chǎn)品經(jīng)北京微電子、北京中科信、湖南紅太陽等國內(nèi)重點(diǎn)用戶的集成電路生產(chǎn)線應(yīng)用后，得到了企業(yè)的廣泛好評。實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，東北大學(xué)真空泵(機(jī)組)平均單次抽真空能耗降低26.7%，真空穩(wěn)定性提高了一個數(shù)量級，產(chǎn)品可靠性提升了21.2%，設(shè)備的平均維護(hù)周期延長了近一倍。產(chǎn)品的應(yīng)用為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟(jì)效益，近四年新增利潤累計1.003億元，新增稅收0.153億元，增收節(jié)支總額1.493億元。

　　經(jīng)過國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心的檢測，以及北方微電子等國內(nèi)重點(diǎn)用戶的應(yīng)用驗(yàn)證，東北大學(xué)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的10余種干式真空泵在典型的IC裝備工藝中具有較好的應(yīng)用，抽速、噪聲、極限真空度、可靠性等核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平，但售價僅為對方的70%左右，具備較強(qiáng)的市場競爭力。