電真空器件的氣密性檢測時的注意事項
電真空器件的氣密性檢測時會受到很多因素的影響，本文論述了溫度、臨時密封材料(酒精、真空封泥、橡膠件)和設(shè)備材料吸附等因素會帶來的電真空器件的氣密性檢測的測量誤差。
1、溫度
環(huán)境溫度對漏孔的漏率有很大的影響，工件溫度與室內(nèi)溫度一致時進行檢漏效果最佳。溫度對于漏孔幾何尺寸和氣體特性的影響都將改變漏率大小。漏孔通道的幾何尺寸會隨溫度變化，同一個漏孔在不同的溫度下，其漏率值是不一樣的。按國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 12604.7-1995 規(guī)定，標(biāo)準(zhǔn)漏率的溫度是25 ℃，否則，真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.healwit.com.cn/)認(rèn)為就應(yīng)該對漏率值作相應(yīng)修正，公式如下：
Q=Q1T/T1 (12)
式中：T 是標(biāo)準(zhǔn)漏率規(guī)定的溫度(25 ℃所對應(yīng)熱力學(xué)溫度)，T1 是被檢件的實際檢測熱力學(xué)溫度，Q 是被檢件的標(biāo)準(zhǔn)漏率，Q1 是被檢件在T1 時的漏率。
2、臨時密封污染
被檢件與輔助模具、檢漏儀連接處，一般采用真空橡膠墊、橡膠圈、橡膠管、橡膠塞、酒精、真空封泥等進行密封處理。檢漏過程中，零部件需要多次與真空封泥接觸。真空封泥雖然可以被汽油溶解，但仍會有少量封泥進入被檢件，如密封狹小腔體，不易發(fā)現(xiàn)和取出，成為潛在放氣源，嚴(yán)重影響電真空器件的性能。酒精、汽油在高溫下分解成CO2、CO、CH4、H2 和水蒸汽，其化合生成的有機物也是污染源。因此，檢漏完畢后一定要徹底檢查清理被檢件。
3、材料的吸附
真空管道、閥門、橡膠密封件屬于吸氣材料，使用時間越長，氦氣等雜質(zhì)氣體吸附越多，檢漏時被吸入質(zhì)譜室會產(chǎn)生表面沉積物等污染，導(dǎo)致氦本底過高，儀器不穩(wěn)定，達不到檢漏精度要求易造成漏檢。因此，需經(jīng)常進行除氦處理，清洗質(zhì)譜室表面。
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1、電真空器件的氣密性檢測
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2、電真空器件的氦檢漏前的準(zhǔn)備工作
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3、電真空器件的常用檢漏方法
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4、電真空器件的氣密性檢測時的注意事項
