本文以我公司首臺進口的油淬氣冷多用真空熱處理爐的現(xiàn)場檢漏分析為例，介紹了在沒有專用檢漏儀器的情況下，以理論分析判斷為主的檢漏方法，以及對真空熱處理爐現(xiàn)場檢漏的相關(guān)理論和注意事項進行了論述。

　　我公司的真空熱處理設(shè)備越來越多，圖1 是其中的一臺進口的油淬氣冷多用真空熱處理爐，也是我公司引進的第一臺真空熱處理爐，該照片圖比較清楚地反映出了設(shè)備的加熱室、淬火室以及設(shè)備的整個抽真空系統(tǒng)。

圖1 我公司的一臺進口的油淬氣冷多用真空熱處理爐

　　理想的真空系統(tǒng)應(yīng)該是不存在任何漏氣現(xiàn)象的。但在實際的真空系統(tǒng)中，泄漏是絕對的，不漏則是相對的。只要設(shè)備的真空度維持在極限真空度以上，或者壓升率達到設(shè)備的設(shè)計要求，雖然存在漏氣，也可以認為系統(tǒng)是不漏的。真空熱處理設(shè)備的檢漏環(huán)節(jié)主要有以下四個方面，設(shè)備設(shè)計階段就要考慮各部件、各部位的檢漏方法和時機；設(shè)備制造過程要檢漏；設(shè)備安裝調(diào)試過程要檢漏；設(shè)備使用過程也要檢漏。

　　本文要探討的是設(shè)備使用過程的檢漏問題。真空檢漏的方法很多，大的分類有壓力檢漏法、真空檢漏法和背壓檢漏法三類，而壓力檢漏法和真空檢漏法中又有很多具體的檢漏方法，參考文獻中有很詳細的介紹。本文要探討的是參考文獻中沒有介紹的理論分析法，即不使用專用的檢漏儀器、利用設(shè)備上的抽真空系統(tǒng)和真空測量儀表，以理論分析判斷為主、輔之以簡易的檢漏方法來解決真空熱處理設(shè)備的現(xiàn)場檢漏問題。

1、影響真空度的主要因素

　　真空熱處理爐正常工作時的極限真空度由下式?jīng)Q定：

　　由公式（1）我們可以看出，真空爐的真空度是由真空泵的極限真空度、爐室的漏氣率、爐室內(nèi)的表面放氣量和泵對爐室的有效抽速決定的。泵的極限真空度（P0）是設(shè)計階段的事，我們不討論。對爐子真空度的影響因素，除了上述三個方面的因素外，還有一方面，在查到的參考文獻中都沒有介紹，就是真空測量系統(tǒng)的故障問題，它直接影響儀表的真空度顯示值，例如真空規(guī)管的污染、真空儀表的零點偏移等。

2、真空泄漏的檢測指標(biāo)

　　對于真空設(shè)備而言，無論密封系統(tǒng)多么可靠，微量的漏氣總是存在的。漏氣率是反映真空設(shè)備質(zhì)量好壞的一個重要指標(biāo)，冷爐的極限真空度是不能說明漏氣情況好壞的，這個結(jié)論可由分析公式（1）得到[2]。目前對真空爐的漏氣率均采用壓升率來表示，單位為Pa/h，JB/T 8195.4- 1999間接電阻爐ZC 系列真空淬火爐標(biāo)準中規(guī)定：A級＜2.0 Pa/h，B 級＜1.33 Pa/h，C 級＜0.65 a/h。測量壓升率一般采用靜態(tài)升壓法，也稱為真空放置法，即首先抽真空到設(shè)備的極限真空度，然后關(guān)閉閥門使真空室同真空泵系統(tǒng)隔離，按GB/T10066.1- 2004 電熱設(shè)備的試驗方法的通用部分中的規(guī)定，進行讀取數(shù)據(jù)，并計算壓升率，也可以再乘以真空室的體積得到漏氣率。壓升率的測量最好是經(jīng)過長時間抽真空，達到真空室內(nèi)表面放氣量可以忽略不計的條件，對于長期使用的爐子或真空室長時間接觸大氣的爐子，要先進行脫氣或凈化處理方可測壓升率，即使這樣，讀取數(shù)據(jù)時也要在壓力隋時間變化呈線性段上讀取數(shù)據(jù)。

3、快速泄漏的理論分析

　　真空度快速下降，一般不用多考慮，肯定存在泄漏點�？焖傩孤┰�因的查找較微量泄漏容易的多，應(yīng)用理論分析的方法就可解決問題，最多輔之以簡易的檢漏方法，就可以找到泄漏點。理論分析的基礎(chǔ)是數(shù)據(jù)，沒有真實、詳細的數(shù)據(jù)是無法進行理論分析的。當(dāng)爐子的真空度出現(xiàn)異常時，要詳細觀察真空度下降的過程、真空度下降前后設(shè)備的工作情況、設(shè)備上各指示儀表的數(shù)據(jù)變化情況，包括回充氣壓力表的變化情況，這些數(shù)據(jù)是進行理論分析的重要依據(jù)。有時候依據(jù)數(shù)據(jù)變化情況進行理論分析甚至可以直接找到泄漏點。下面舉兩個應(yīng)用理論分析找到泄漏點實際例子。