各種充壓檢漏法和最小可檢漏率

2008-09-24 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)培訓(xùn)講座

檢漏方法 工作條件 現(xiàn) 象 設(shè) 備 最小可檢漏率(Pam3／s) 備 注
水壓法   漏水 人眼 10-3～100-4  
壓降法 充3×105Pa空氣 壓力下降 壓力計(jì) 1×10-3  
聽(tīng)音法 同上 咝咝聲 人耳 5×lO-3 可用聽(tīng)診囂
超聲法 同上 超聲波 超聲波檢測(cè)器 1×10-3  
氣泡法 同上 水中氣泡 人眼 10-5～10-6  
同上 水中氣泡 人眼 10-9 24h積累
同上 涂沫肥皂液發(fā)生皂泡 人眼 1×10-5  
氮?dú)鈾z漏法 充3×105Pa氨氣 溴代麝香草酚蘭試帶變色 人眼 10-7 觀測(cè)20s
同上 溴酚蘭試紙變色 人眼 10-11 24h積累
充2.5×105Pa氨氣 復(fù)合涂料顯色 人眼 10-8 1.5小時(shí)積累
鹵素檢漏儀吸嘴法 充鹵素氣體 檢漏儀讀數(shù)變化伴有音響 鹵素檢漏儀 10-6～10-10 可與空氣混合充入
放射性同位素氣體法 充放射性氣體 計(jì)數(shù)器信號(hào)變化 閃爍計(jì)數(shù)器 1×10-7  
氦質(zhì)譜檢漏儀吸嘴法 充氦氣 檢漏儀讀數(shù)變化伴有音響 氦質(zhì)譜檢涌?jī)x 10-8～10-10  
氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法 充氣敏氣體 檢漏儀讀數(shù)變化 氣敏半導(dǎo)體檢漏儀