氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理圖

2020-04-18 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器.其質(zhì)譜原理如圖所示。

氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理圖

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜學(xué)原理

  燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩,與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,軌道半徑

  式中R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑(cm)

  B ——磁場(chǎng)強(qiáng)度(T)

  ——離子的質(zhì)(量)/(電)荷比(正整數(shù))

  U ——離子加速電壓(V)

  由上式可知,當(dāng)R、B為定值時(shí),改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。