1、 充氦充氮氟油檢漏平臺(tái)

　　充氦充氮氟油檢漏平臺(tái)是對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行密封性、可靠性粗檢漏的專用設(shè)備，它與氦質(zhì)譜檢漏儀配套使用，完成GJBI128A-97國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和GJB548-96軍用標(biāo)準(zhǔn)中，對(duì)半導(dǎo)體器件零件進(jìn)行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。

　　此平臺(tái)的工作過(guò)程是：

　　1、氦精檢漏實(shí)驗(yàn)，將半導(dǎo)體零件或器件置于高壓容器中，按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中的規(guī)定，根據(jù)被檢件的體積大小，施加不同的壓力和氦氣，保持不同時(shí)間，減壓后把被檢件從容器中取出來(lái)，在氦質(zhì)譜檢漏儀上檢漏，根據(jù)漏率值判斷是否合格。

　　2、粗檢漏實(shí)驗(yàn)，將精檢漏后的被檢件放入真空加壓罐中抽真空，注入一定量的氟油，再保壓一定時(shí)間，放空取出后，放入專門加溫的氟油中,根據(jù)有無(wú)氣泡判斷是否合格。全過(guò)程連貫進(jìn)行，操作簡(jiǎn)單,安全可靠,工作環(huán)境清潔。

2、多工位高真空排氣檢漏臺(tái)

　　多工位氦質(zhì)譜檢漏高真空排氣檢漏裝置適用于工業(yè)領(lǐng)域高壓開(kāi)關(guān)管、微波發(fā)射管等要求大批量、多品種、高靈敏度、快速檢漏產(chǎn)品的檢漏設(shè)備。

　　該系統(tǒng)由檢漏儀和檢漏平臺(tái)兩部分組成，檢漏儀用于判斷工件是否泄漏;檢漏平臺(tái)對(duì)工件進(jìn)行真空預(yù)抽，檢漏平臺(tái)有左右兩組相互獨(dú)立的檢測(cè)工位，每組工位設(shè)置了1-3個(gè)檢測(cè)接口;一組工位抽真空的同時(shí)，另一組工位進(jìn)行檢測(cè)或裝卸工件，縮短了檢測(cè)周期，提高了工作效率。由可編程工業(yè)控制器(PLC)對(duì)檢測(cè)全過(guò)程進(jìn)行自動(dòng)控制，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性，操作十分簡(jiǎn)單，方便了使用者。

　　主要技術(shù)指標(biāo)和參數(shù)：

　　1、電源: 220V 12A

　　2、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

　　3、工作節(jié)拍空載:20S/拍

　　4、啟動(dòng)時(shí)間:<10min

　　5、響應(yīng)時(shí)間: <5S

　　6、壓縮空氣: 5～6kg

　　7、環(huán)境溫度: 5～35℃

　　8、空氣相對(duì)濕度: <80

　　9、工作環(huán)境附近無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)、無(wú)劇烈震動(dòng)、無(wú)腐蝕性氣體;室內(nèi)通良好，以避免氦氣干攏。