文中首先從理論上推導(dǎo)出檢漏儀的入口壓力與顯示值的數(shù)學(xué)關(guān)系表達(dá)式, 其次通過試驗驗證了該表達(dá)式的正確性。與此同時, 提出了一種測試檢漏儀線性性能的新方法。研究結(jié)果表明: 檢漏儀的入口壓力與顯示值是線性關(guān)系; 當(dāng)溫度和測試氣體的濃度一定時, 該線性關(guān)系的斜率是檢漏儀的本質(zhì)屬性, 只與檢漏儀自身的參數(shù)有關(guān)。

　　航天器的密封性能是評價航天器質(zhì)量高低的一個重要參數(shù)。在航天器的制造和裝配過程中, 所做的密封性能測試一般包括單點的漏率測試以及總漏率測試。對于單點漏率測試, 現(xiàn)在所采用的方法往往都是吸槍法, 因此研究吸槍法具有極其重要的工程實際意義。吸槍法檢漏的示意圖如圖1 所示, 具體的操作過程是: 將被測物內(nèi)充入規(guī)定壓力的氦氣,用特制的吸槍( 如限流的針閥、膜孔或毛細(xì)管) 在被測物外進行探索, 見圖1。若被測物存在漏孔, 氦氣將通過漏孔向外逸出。當(dāng)吸槍正對漏孔位置時, 氦氣隨同周圍空氣一起被吸槍吸入到檢漏儀中而產(chǎn)生輸出指示, 從而達(dá)到檢漏目的。

　　在采用吸槍法進行單點漏率測試時, 通常規(guī)定檢漏儀的入口壓力在一定的范圍內(nèi)。如Leybold公司的PhoeniXL300 氦質(zhì)譜檢漏儀在檢漏時的入口壓力規(guī)定為30~ 70 Pa。那么檢漏儀的入口壓力對測試數(shù)據(jù)有多大影響呢? 或者說入口壓力與檢漏儀的輸出顯示值有何關(guān)系呢? 本文嘗試從理論和試驗兩個方面來解決這一問題。這一問題的解決將對使用氦質(zhì)譜檢漏儀的其它檢漏方法也有一定的參考意義[1] 。

圖1 吸槍法檢漏原理示意圖

1 、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理簡介

　　氦質(zhì)譜檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測量電路組成, 其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。其一般的原理是將進入質(zhì)譜室中的混合氣體進行電離, 形成具有一定能量的離子, 這些離子由于質(zhì)荷比的不同, 在分析器中將按不同軌跡運動從而彼此分開, 僅使氦離子在收集極上收集并最終放大顯示[2] 。因此, 氦質(zhì)譜檢漏儀在本質(zhì)上講可以看成是氦氣原子的計數(shù)器。其無論輸出顯示的是電壓值還是漏率值, 雖然表現(xiàn)形式不一樣, 但這些顯示值必將都與進入質(zhì)譜室中的氦氣原子的摩爾數(shù)是線性正比的。在有些文獻(xiàn)上, 也將檢漏儀的輸出顯示值看成與進入質(zhì)譜室中的氦分壓成線性正比的[3-4] 。這在本質(zhì)上是一致的, 可以通過理想氣體的狀態(tài)方程進行簡單的轉(zhuǎn)換。常見的兩種氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理見圖2 和圖3。在一般的氦質(zhì)譜檢漏儀中, 被檢件接在檢漏儀的高真空側(cè)( 即檢漏儀的質(zhì)譜室) , 當(dāng)被檢件漏氣或出氣較大時, 質(zhì)譜室中的壓力將超過儀器的最高工作壓力, 此時檢漏儀就無法進行工作了[2] , 因此, 實際工程中往往采用逆流檢漏儀。逆流檢漏儀是利用高真空泵的
壓縮比與被抽氣體質(zhì)量有關(guān)的原理來工作的。氣體的質(zhì)量越小, 壓縮比也就越小, 因此逆擴散的示漏氣體的分子數(shù)就越多, 這些逆擴散的分子進入質(zhì)譜室,最終形成了檢漏儀的輸出讀數(shù)�，F(xiàn)在工程實際中所使用的檢漏儀幾乎全是逆流檢漏儀, 因此, 本文著重分析逆流檢漏儀。

　　吸槍是氦質(zhì)譜檢漏儀的一種取樣探頭。目前大多數(shù)吸槍采用針閥式結(jié)構(gòu), 可以精確調(diào)節(jié)吸槍的流導(dǎo)以滿足檢漏儀的工作壓力需求。因此, 可以通過調(diào)節(jié)吸槍, 在檢漏儀的工作壓力范圍內(nèi)改變?nèi)肟趬毫? 來考察入口壓力的變化對吸槍檢漏數(shù)據(jù)的影響。本文的試驗部分就是基于這樣的設(shè)想完成的。

圖2  一般氦質(zhì)譜檢漏儀

圖3  逆流檢漏儀

5、結(jié)論

　　(1) 當(dāng)所測氣體的濃度和溫度固定時, 檢漏儀的入口壓力與顯示值是線性關(guān)系; 且該線性關(guān)系的斜率是檢漏儀的本質(zhì)屬性, 只與檢漏儀自身的參數(shù)有關(guān)。

　　(2) 通過調(diào)節(jié)檢漏儀的入口壓力來調(diào)節(jié)進入檢漏儀的氦氣量, 從而可以測試檢漏儀的線性, 這就為測試檢漏儀的線性提供了一種廉價而方便的方法。

參考文獻(xiàn)

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