密封器件壓氦和預(yù)充氦細(xì)檢漏判定漏率合格的條件

薛大同¹ 肖祥正¹ 王庚林²

(1.蘭州空間技術(shù)物理研究所真空低溫技術(shù)與物理國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;2. 北京市科通電子繼電器總廠)

　　摘要：密封器件的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏技術(shù)分壓氦法(即背壓法)和預(yù)充氦法兩種。由于密封器件氦質(zhì)譜細(xì)檢漏技術(shù)的特殊性，同一個(gè)測量漏率所對應(yīng)的可能是小漏孔，也可能是大漏孔。

　　對于壓氦法，公認(rèn)的先細(xì)檢再粗檢方法受最長候檢時(shí)間的限制，過短不利于表面吸附氦氣的凈化，過長可能造成漏檢。

　　預(yù)充氦法的優(yōu)點(diǎn)是可用于檢測壓氦法檢測不到的小漏孔。然而，用戶復(fù)檢預(yù)充氦密封器件的漏率時(shí)，候檢時(shí)間往往已很長，其中可能存在的大漏孔會處于分子流狀態(tài)，因而不能靠粗檢法鑒別，而單純靠壓氦法復(fù)檢加粗檢，又發(fā)揮不出預(yù)充氦法的優(yōu)點(diǎn)。

　　本文改進(jìn)了預(yù)充氦法大小漏孔均在分子流范圍時(shí)的鑒別方法：

　　(1)提出候檢時(shí)間存在兩個(gè)特征點(diǎn)，一個(gè)是保證大漏率可以靠粗檢法鑒別的最長候檢時(shí)間，一個(gè)是保證任務(wù)允許的最大測量漏率不超過測量漏率～等效標(biāo)準(zhǔn)漏率關(guān)系曲線極大值點(diǎn)的最長候檢時(shí)間。采用我們提出的檢測方法，即使候檢時(shí)間超過了這兩個(gè)特征點(diǎn)時(shí)間，仍有可能判斷漏率是否合格，并在漏率合格時(shí)給出被檢器件的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率;

　　(2)預(yù)充氦密封器件氦質(zhì)譜細(xì)檢時(shí)經(jīng)常會輔以壓氦法復(fù)檢加粗檢，我們對壓氦法復(fù)檢加粗檢賦于了一項(xiàng)更重要的職能，即主要用于判斷被檢器件等效標(biāo)準(zhǔn)漏率是否超過預(yù)充氦法測量漏率～等效標(biāo)準(zhǔn)漏率關(guān)系曲線極大值點(diǎn)。然后分別各種情況對漏率合格的被檢器件或者用壓氦法公式，或者用預(yù)充氦法公式確定其等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。

　　這樣做，充分發(fā)揮了預(yù)充氦法可用于檢測壓氦法檢測不到的小漏孔這一優(yōu)點(diǎn)，有利于保證航天密封器件的長壽命、高可靠。