真空器件用玻璃——可伐管狀封接工藝研究

馬迎英 歐 麗 梁 莉 張 強(qiáng) 李正林 陶 青

(中國(guó)工程物理研究院 電子工程研究所 綿陽(yáng) 621900)

　　摘要：玻璃——可伐管狀封接是利用可伐表面氧化層與熔融的電真空鉬族玻璃很好的浸潤(rùn)的一種管狀匹配封接，因其良好的氣密性及較高封接強(qiáng)度，在真空器件的科研及生產(chǎn)中有較廣泛的使用。

　　本文將真空器件用玻璃——可伐管狀封接氣泡產(chǎn)生原因歸納為三類(lèi)。結(jié)合大量工藝試驗(yàn)和相關(guān)資料，逐一對(duì)應(yīng)提出了具體的分析及解決措施。通過(guò)三維數(shù)字顯微鏡對(duì)比改進(jìn)前后的封接效果，證明以上措施可以有效避免真空器件用玻璃——可伐封接汽泡問(wèn)題的產(chǎn)生，進(jìn)一步保障了真空器件的科研生產(chǎn)工作。

　　關(guān)鍵詞：氣泡 封接 燒制 分析 解決