電極饋入裝置

　　圖7 所示為電極饋入裝置, 其結構是用陶瓷把紫銅和純鈦管隔開并且密封, 材料為TA1+ Al₂O₃陶瓷95%+T2。

1.鈦管　　2.高鋁陶瓷　　3.銅合金柱

圖7 電極饋入裝置

　　釘焊前應進行如下工序: 將Al₂O₃ 陶瓷95%用Mo-Mn 法先金屬化處理, 然后再鍍一層Ni 或Cu。鈦管TA1 先進行蒸氣除油, 然后再進行酸洗; 將厚0.l mm 的BAg72Cu 箔狀釬料剪成一定形狀, 將Φ0.8 mm 的BAg72Cu 按接頭形式制成環(huán)狀, 用陶瓷墊板把裝配好的零件壓緊, 裝入真空爐的加熱室準備釬焊。釬焊工藝參數(shù): 冷態(tài)本底真空度10^-3 Pa, 釬焊溫度為830±5℃ , 釬焊保溫時間為3min。

陶瓷引入電極

　　圖8 所示為真空設備中使用的引入電極, 材料為T2 與不銹鋼元件之間用氧化鋁陶瓷隔開,陶瓷起絕緣作用, 要求釬焊后釬縫密封。釬焊工藝是采用Mo-Mn 法使氧化鋁陶瓷內(nèi)孔端頭和外表面待釬焊部位金屬化, 然后鍍厚35 μm 的鎳層。使用BAg72Cu 釬料, 在真空度為10^-1 Pa、釬焊溫度為850℃的條件下, 保溫5 min, 獲得的接頭光潔致密。

1. 紫銅電極桿　　2. 氧化鋁陶瓷管　　3. 不銹鋼殼體

圖8 陶瓷探針

氮化硅陶瓷與40Cr鋼的真空擴散釬焊

　　Si₃N₄氮化硅陶瓷與40Cr 鋼的連接或封接, 選用BAg72Cu 釬料無法直接釬焊。應在二者之間夾置0.1 mm 的純鈦箔作為活化層, 用鉬或GH44 高溫合金做成彈性夾具, 給工件施加一定的壓力, 然后在真空爐中抽真空到5 ×10^-3 Pa, 加熱到750℃, 穩(wěn)定10～20 min, 工作真空度不低于2×10^{- 2} Pa, 釬焊溫度為820℃～850℃, 保溫時間為3～5 min。獲得的接頭抗拉強度σb = 208 MPa。