半導(dǎo)體工業(yè)在硅片加工過程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳?xì)浠�合物�?Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。

       碳?xì)浠�合物油極易燃燒，化學(xué)結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，容易降解，使得潤(rùn)滑性能容易降低，從而導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機(jī)維修時(shí)間的增加，而影響生產(chǎn)效率。而且，碳?xì)浠�合物油的可燃性也�?dǎo)致安全隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對(duì)于環(huán)保方面是非常不利的。總之，許多方面均會(huì)導(dǎo)致運(yùn)行成本的上升。

       全氟聚醚油(PFPE) 分子鏈飽和，不含氫元素，化學(xué)性能特別穩(wěn)定，抗強(qiáng)氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等化學(xué)物質(zhì)，高溫性能穩(wěn)定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤(rùn)滑性能。不僅安全， 且使用壽命長(zhǎng)。

        半導(dǎo)體工業(yè)在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強(qiáng)氧化劑，因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵具有非常優(yōu)越的適應(yīng)性，PFPE因其優(yōu)異性能而得到廣泛使用。尤其在消除火災(zāi)或爆炸的危險(xiǎn)隱患等方面更是性能卓越。世界著名的真空泵制造商， 如萊寶(LeyBold) 愛德華(Edwards)均使用PFPE 油作為其真空泵的介質(zhì)，以保證其真空設(shè)備在特殊環(huán)境中繼續(xù)保持優(yōu)良的性能。

        因此，PFPE 是半導(dǎo)體工業(yè)真空泵油的最佳選擇，能夠完全滿足半導(dǎo)體工業(yè)中安全性、可靠性以及環(huán)保等要求。

       美國(guó)杜邦公司KRYTOXb系列產(chǎn)品最初的研發(fā)是起源于航天計(jì)劃，比如阿波羅登月計(jì)劃的導(dǎo)航系統(tǒng)用的潤(rùn)滑劑，并首獲成功。隨后應(yīng)全世界半導(dǎo)體工業(yè)的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列產(chǎn)品得到所有主要真空泵制造商如LeyBold,Edwards，Ebara 等的認(rèn)可，均符合或超過所有主要泵制造商有關(guān)品質(zhì)擔(dān)保的要求。杜邦KRYTOXb具體性能如下：

        ◆ 化學(xué)穩(wěn)定性：KRYTOXbVPF 化學(xué)性能非常穩(wěn)定，耐強(qiáng)酸,包括極強(qiáng)的路易氏酸，耐強(qiáng)堿。性能非常穩(wěn)定， 與接觸的任何特種氣體如氟氣，SiH4 等，強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)，強(qiáng)氧化劑，還原劑等均不發(fā)生反應(yīng)；

        ◆ 不燃燒性：KRYTOXb分子結(jié)構(gòu)中不含氫元素，耐氧化，不會(huì)燃燒， 無閃點(diǎn)，無燃點(diǎn)，可避免任何火災(zāi)的隱患，達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)安全性的要求；

        ◆ 熱穩(wěn)定性：極低的蒸發(fā)率和降解率，能夠避免任何殘留物的形成而影響半導(dǎo)體工業(yè)中反應(yīng)室的純凈度及高真空度的維持；

        ◆ 卓越的潤(rùn)滑性能：尤其在比較寬的操作溫度范圍，在高負(fù)載，高壓強(qiáng)的情況下，KRYTOXb均具有良好的潤(rùn)滑性能，能夠減少磨耗，尤其對(duì)于真空泵及壓縮機(jī)等設(shè)備維持優(yōu)良的運(yùn)行性能等等非常重要；

        ◆ 粘度和蒸氣指標(biāo)穩(wěn)定可靠: 能夠保持極低的回流率，從而能夠持續(xù)地保證系統(tǒng)的高真空度。

        綜上所述，杜邦全氟聚醚產(chǎn)品-KRYTOXb VPF真空泵油完全能夠滿足半導(dǎo)體工業(yè)的要求，尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過程中如刻蝕劑和沉淀過程中所面臨的特殊氣體，強(qiáng)腐蝕性化學(xué)物質(zhì)，均能保證其操作的安全與可靠。

        注：本文系杜邦中國(guó)集團(tuán)有限公司委托發(fā)布的產(chǎn)品軟文。具體產(chǎn)品信息請(qǐng)致電杜邦公司。