材料放氣率測量方法評述

2011-02-22 張滌新蘭州物理研究所

　　材料放氣率被用于評價真空材料性能，隨著理論研究的深入和實踐經(jīng)驗的積累，對材料放氣率測試方法有了更具體和更深刻的認識。本文介紹了瑞士、德國、日本、印度以及國內(nèi)材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展，并對各裝置的結(jié)構(gòu)特點和性能指標進行了評述。

　　材料在真空條件下會因解析而放氣，材料放氣率成為選用真空材料的重要參數(shù)。測量放氣率一般有兩種常用的方法：一種是定容法，將被測材料的試樣放置在密閉的已知容積的真空容器中，測量試樣放氣引起的壓力上升速率，根據(jù)定容室內(nèi)的容積和壓力上升率計算材料放氣率。另一種是小孔流導法，將被測試材料的試樣放置于真空容器中，用已知流導小孔抽氣，通過測量動態(tài)平衡壓力，根據(jù)在分子流導下小孔的流導和小孔兩邊的壓力差計算出材料放氣率。

　　早期的材料放氣率測量裝置一般是玻璃系統(tǒng)，擴散泵作為主抽泵，其油蒸汽返流影響較大；閥門是油脂閥門、液體合金閥門和球閥等，其放氣率大，只能測量放氣率較大的真空材料。上世紀80年代材料放氣率測量裝置逐漸采用不銹鋼材料制做，選用分子泵抽氣、采用全金屬閥門和金屬密封技術(shù)，采用了不同的測試技術(shù)，延伸了材料放氣率的測量下限，提高了材料放氣率的測量精度。

　　本文介紹了國內(nèi)外典型的材料放氣率測量裝置的結(jié)構(gòu)特點和達到的性能指標，并對材料放氣率的測量方法進行了評述。

1、材料放氣率測試技術(shù)的起步階段

　　http://www.healwit.com.cn/engineering/022349.html

2、材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展時期

　　http://www.healwit.com.cn/engineering/022350.html

3、國內(nèi)材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展

　　http://www.healwit.com.cn/engineering/022351.html

4、結(jié)束語

　　通過回顧國內(nèi)外材料放氣率測量技術(shù)的發(fā)展歷史，可概括如下：

　�。�1）在設(shè)計結(jié)構(gòu)上，從傳統(tǒng)的上下室結(jié)構(gòu)發(fā)展到對稱的結(jié)構(gòu)，便于扣除真空規(guī)和測試室產(chǎn)生的本底，有利于減小測量不確定度；

　　（2）測量儀器由B- A 規(guī)發(fā)展到精度較高的分離規(guī)，采用雙真空規(guī)測量材料放氣率發(fā)展到單真空規(guī)測量材料放氣率，便于消除真空規(guī)物理效應(yīng)帶來的影響；

　�。�3）真空設(shè)備材料由玻璃材料發(fā)展到316 L 不銹鋼材料，并經(jīng)過特殊的除氣工藝，有很低的放氣率，延伸了測量下限；