摘　要：利用射頻磁控濺射技術(shù),在室溫下合成了具有納米調(diào)制周期的TiB2/TiAlN多層膜.分別采用表面輪廓儀、納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、多功能材料表面性能實(shí)驗(yàn)儀和XRD,分析了調(diào)制周期對(duì)TiB2/TiAlN納米多層膜機(jī)械性能的影響.結(jié)果表明:大部分多層膜的納米硬度和彈性模量值都高于兩種個(gè)體材料混合相的值,在調(diào)制周期為25 nm時(shí),多層膜體系的硬度超過了36GPa,性能達(dá)到較佳效果.

　　關(guān)鍵詞：射頻磁控濺射;TiB2/TiAlN納米多層膜;調(diào)制周期;硬度

　　分類號(hào)：O484　文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

　　文章編號(hào)：1672-7126(2008)增刊-026-03

Modulation Period and Mechanical Properties of Nano-scaled TiB2/TiAlN Multilayered Coatings

Liu Sipeng　 Kang Yuanbin　 Wang Hui　 Li Dejun　 Deng Xiangyun

　　基金項(xiàng)目：天津市科技計(jì)劃國際合作項(xiàng)目(No.07ZCGHHZ01500)

　　作者簡(jiǎn)介：鄧湘云,聯(lián)系人:Tel:022-237156519;Fax:022-23766519;E-mail:xiangyundtj@yahoo.com.cn

　　作者單位：劉思鵬(天津師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院,天津,300387)

　　亢原彬(天津師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院,天津,300387)

　　王暉(天津師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院,天津,300387)

　　李德軍(天津師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院,天津,300387)

　　鄧湘云(天津師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院,天津,300387)