摘　要：薄膜應力普遍存在于薄膜元器件中,從而影響薄膜器件性能,限制了其良好的應用前景.所以控制薄膜的應力,消除其不良影響,是薄膜生產(chǎn)工藝中不可或缺的技術手段.本文對此詳細闡述了幾種常用的薄膜應力控制方法,并對以后研究工作的開展提出幾點要求.

　　關鍵詞：薄膜;應力;控制技術

　　分類號：O484.2　文獻標識碼：A

　　文章編號：1672-7126(2008)增刊-017-05

Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication

Jiang Zhao　 Chen Xuekang

　　蔣釗,聯(lián)系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com

　　作者單位：蔣釗(蘭州物理研究所,表面工程技術國家級重點實驗室,蘭州,730000)

　　陳學康(蘭州物理研究所,表面工程技術國家級重點實驗室,蘭州,730000)

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